[发明专利]一种玻璃基板旋转对位传输机有效

专利信息
申请号: 201810147027.1 申请日: 2018-02-12
公开(公告)号: CN108198777B 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 安志强;张辽;李海伟;贺海亮 申请(专利权)人: 北京京城清达电子设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18
代理公司: 北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙) 11583 代理人: 李丽
地址: 102600 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 旋转 对位 传输
【权利要求书】:

1.一种玻璃基板旋转对位传输机,包括:

机架(10)、对位支撑单元(20)、旋转升降单元(30)、主传输单元(40)以及过渡传输单元(50),

其中,所述对位支撑单元(20)用于对玻璃基板进行对位,包括UVW平台(21)、多个对位镜头组件(22)、多个顶销支撑组件(23),所述UVW平台(21)和多个对位镜头组件(22)安装在机架(10)上,所述多个顶销支撑组件(23)安装在UVW平台(21)上;

所述旋转升降单元(30)用于调节玻璃基板的高度以及水平方向,包括多个升降器(31)、马达(32)、升降框架(33)和旋转顶板(34),所述马达(32)底面安装于升降框架(33)上,顶面与旋转顶板(34)连接,所述升降框架(33)与多个升降器(31)连接,所述多个升降器(31)安装在机架(10)上;

所述主传输单元(40)用于传输玻璃基板以及为玻璃基板进行初步整形,包括主传输框架(41)、多个滚轮组件(42)和整形组件(43),所述多个滚轮组件(42)和整形组件(43)布置在主传输框架(41)上,所述主传输框架(41)安装在旋转顶板(34)上;

所述过渡传输单元(50)用于将玻璃基板传输到所述主传输单元(40)上,包括多个框架升降装置(51)、过渡传输框架(52)和多个过渡滚轮组件(53),所述多个过渡滚轮组件(53)通过轴承均匀布置在过渡传输框架(52)上,所述过渡传输框架(52)布置在框架升降装置(51)上,通过框架升降装置(51)实现过渡传输框架(52)和多个过渡滚轮组件(53)的升降。

2.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述对位镜头组件(22)包括镜头(220)和支撑镜头的支架(221),所述镜头(220)设置在支撑镜头的支架(221)上,可以上下左右移动,所述支撑镜头的支架(221)设置在机架(10)上,所述对位镜头组件(22)设置有两个,分别对应布置在玻璃基板的其中一组对角位置。

3.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述多个顶销支撑组件(23)包括顶销托架(2300)和设置在顶销托架上的支撑矩阵,所述支撑矩阵由多个支撑滚球组件(2310)、多个支撑顶销组件(2320)以及多个真空支撑滚球组件(2330)排列组合构成,支撑矩阵的四个角为真空支撑滚球组件(2330),支撑矩阵的其余位点由支撑滚球组件(2310)、支撑顶销组件(2320)以及真空支撑滚球组件(2330)穿插排列构成;

所述支撑滚球组件(2310)包括滚球万向球(2311)、滚球支柱(2312)、滚球导向轴支座(2313),所述滚球支柱通过滚球导向轴支座固定在顶销托架上,滚球支柱上面安装有滚球万向球,所述滚球万向球是可以滚动的;

所述支撑顶销组件(2320)包括顶销(2321)、顶销支柱(2322)、顶销导向轴支座(2323),所述顶销支柱(2322)通过顶销导向轴支座(2323)固定在顶销托架(2300)上,顶销支柱(2322)上面安装有顶销(2321),所述顶销(2321)是固定的;

所述真空支撑滚球组件(2330)包括真空万向球(2331)、真空支柱(2332)、真空导向轴支座(2333),所述真空支柱通过真空导向轴支座固定在顶销托架(2300)上,真空支柱(2332)上面安装有真空万向球(2331),所述真空万向球(2331)是可以滚动的,但是在真空支柱(2332)内部抽真空的条件下所述真空万向球(2331)停止滚动。

4.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述升降器(31)设置有四个,分别布置在升降框架(33)的四角位置,并支撑升降框架(33),所述四个升降器(31)同步运动。

5.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述整形组件(43)包括8个整形装置(430),分别布置在主传输框架(41)的四周,每边布置两个。

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