[发明专利]一种光电探测材料在紫外光探测上的应用有效

专利信息
申请号: 201810117998.1 申请日: 2018-02-06
公开(公告)号: CN110120439B 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 刘晶;张荣杰 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032;H01L31/113
代理公司: 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 代理人: 王秀奎
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 光电 探测 材料 紫外光 应用
【说明书】:

发明公开了一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,所述光电探测材料按照以下方法制备:步骤1,将纳米厚度的过渡金属硫族化物薄片转移到基底上;步骤2,在步骤1所得器件上沉积金纳米层;步骤3,将步骤2得到的器件进行退火处理,自室温20℃~25℃起始以5~15℃/min的速度进行升温至300℃~400℃,保温20~40分钟后,自然冷却至室温得到光电探测材料;所述光电探测材料在紫外光照射后,其电流从基态的纳安级别上升到微安级,并能在紫外光关闭后微安级电流值保持达15~20天,再放在去离子水中清洗后干燥,其电学性质重新到基态,并且所述光电探测材料可循环重复此过程。本发明灵敏度高,响应时间短的优点。

技术领域

本发明涉及光电传感技术领域,特别是涉及一种光电探测材料在紫外光探测上的应用。

背景技术

对紫外光的检测是一项重要的军用和民用技术,它在空间通讯,光电对抗,导弹羽烟监控,生物分子和化学分子检测,臭氧监控和有机污染、水质检查等方面有着广泛的应用。目前商用的紫外探测器件主要是硅基半导体和光电倍增管两类,硅基半导体器件由于其禁带宽度为1.2eV,使得它对可见光区域仍然有很大的响应,为了实现紫外探测需要加紫外滤光片等增加器件结构的复杂度;光电倍增管具有灵敏度高,响应快,稳定性好等特点,但是其体积较大,能耗和暗电流噪声大等也在一定程度上限制了它的应用。

针对以上分析,宽带隙半导体材料收到了研究者们的青睐,如SiC,GaN,ZnO等具有介电常数小,抗辐射能力强的材料。通过掺杂,与其他元素结合等手段,可以实现从3-4eV禁带宽度可调的紫外光探测器。但是,由于固有的宽带隙特点,使得这类紫外光探测器件功耗较大,光电灵敏度较低,且制作工艺通常较为复杂,需要进行掺杂等过程。所以,探索一种制备工艺简单实现低能耗,高光电响应率的新型的紫外光探测器件结构具有重要研究价值。同时,实现光信息的收集和存储是下一代高密度,小型化,低成本的电存储器的发展趋势。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的紫外光探测材料灵敏度低、针对性差、体积大的缺点,而提供一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,具有体积小,灵敏度高,响应快,稳定性好的优点。

为实现本发明的目的所采用的技术方案是:

一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,所述光电探测材料按照以下方法制备:

步骤1,将纳米厚度的过渡金属硫族化物薄片转移到基底上;

步骤2,在步骤1所得器件上沉积金纳米层;

步骤3,将步骤2得到的器件进行退火处理,自室温20℃~25℃起始以5~15℃/min的速度进行升温至300℃~400℃,保温20~40分钟后,自然冷却至室温得到光电探测材料;

所述光电探测材料在紫外光照射后,其电流从基态的纳安级别上升到微安级,并能在紫外光关闭后微安级电流值保持达15~20天,再放在去离子水中清洗后干燥,其电学性质重新到基态,并且所述光电探测材料可循环重复此过程。

在上述技术方案中,所述步骤1中过渡金属硫族化物的厚度为10-50nm。

在上述技术方案中,所述步骤1中过渡金属硫族化物薄片的面积为100-500平方微米,所述基底的面积为3-4平方厘米。

在上述技术方案中,所述步骤1中的过渡金属硫族化物为MoS2、ReS2或MoSe2

在上述技术方案中,所述步骤1中的基底为重掺杂硅或二氧化硅基底。

在上述技术方案中,所述步骤1中的过渡金属硫族化物薄片通过干法转移方式复合在基底上。

在上述技术方案中,所述步骤2中金纳米层的厚度为3-10nm。

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