[发明专利]一种光电探测材料在紫外光探测上的应用有效
申请号: | 201810117998.1 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN110120439B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 刘晶;张荣杰 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/032;H01L31/113 |
代理公司: | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人: | 王秀奎 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光电 探测 材料 紫外光 应用 | ||
1.一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述光电探测材料按照以下方法制备:
步骤1,将纳米厚度的过渡金属硫族化合物薄片转移到基底上,所述过渡金属硫族化合物为MoS2、ReS2或MoSe2;
步骤2,在步骤1所得器件上沉积金纳米层;
步骤3,将步骤2得到的器件进行退火处理,自室温20℃~25℃起始以5~15℃/min的速度进行升温至300℃~400℃,保温20~40分钟后,自然冷却至室温得到光电探测材料;
所述光电探测材料在紫外光照射后,其电流从基态的纳安级别上升到微安级,并能在紫外光关闭后微安级电流值保持达15~20天,再放在去离子水中清洗后干燥,其电学性质重新到基态,并且所述光电探测材料可循环重复此过程。
2.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述步骤1中过渡金属硫族化合物薄片的面积为100-500平方微米,所述基底的面积为3-4平方厘米。
3.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述步骤1中的基底为重掺杂硅或二氧化硅基底。
4.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述步骤1中的过渡金属硫族化合物薄片通过干法转移方式复合在基底上。
5.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述步骤2中金纳米层的厚度为3-10nm。
6.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述步骤2中的金纳米层是通过电子束蒸发方式沉积在步骤1所得器件上的,具体步骤为,在金属蒸发仪器中利用电子束轰击99.999%纯度的金使其达到融化温度,薄膜沉积速度为在
7.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述紫外光照时间为5~10s。
8.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述干燥方式为氮气吹干。
9.如权利要求1所述的一种光电探测材料在紫外光探测上的应用,其特征在于,所述步骤1中过渡金属硫族化合物的厚度为10-50nm。
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