[发明专利]可折叠显示屏及可折叠显示屏的制造方法在审
申请号: | 201810052181.0 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108389866A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 俞凤至;刘晓佳 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/683 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可折叠显示屏 弯折区 阻挡层 衬底 工艺腔室 金属层 显示区 制造 相邻设置 有效减少 有机物 挥发 减小 污染 | ||
1.一种可折叠显示屏,包括显示区及弯折区,所述弯折区与所述显示区相邻设置,其特征在于,所述弯折区包括柔性衬底、第一阻挡层及金属层;
所述第一阻挡层设置在所述柔性衬底的一表面上;
所述金属层设置在所述第一阻挡层上。
2.根据权利要求1所述的可折叠显示屏,其特征在于,所述第一阻挡层为由ITO材料制成的ITO膜层。
3.根据权利要求2所述的可折叠显示屏,其特征在于,所述ITO膜层由溅射设备在常温下在所述柔性衬底的一表面上沉积得到,且所述ITO膜层的厚度为20-40nm。
4.根据权利要求1所述的可折叠显示屏,其特征在于,所述柔性衬底的材料为聚酰亚胺,在硬性基板上涂布所述聚酰亚胺后进行固化得到所述柔性衬底。
5.根据权利要求1所述的可折叠显示屏,其特征在于,所述可折叠显示屏还包括第二阻挡层,所述第二阻挡层设置在所述第一阻挡层远离所述柔性衬底的一表面上,且将与所述弯折区相对应的所述第二阻挡层进行刻蚀得到图案化第二阻挡层。
6.根据权利要求5所述的可折叠显示屏,其特征在于,所述第二阻挡层为由硅氮氧化物或硅氧化物材料制成的无机层,所述无机层由化学气相沉积工艺在腔室温度为300°-400°下成膜得到。
7.一种可折叠显示屏的制造方法,所述可折叠显示屏包括显示区及弯折区,所述弯折区与所述显示区相邻设置,其特征在于,所述可折叠显示屏的制造方法包括:
提供一硬性基板;
在所述硬性基板上制作柔性衬底;
在所述柔性衬底上沉积第一阻挡层;
形成所述第一阻挡层后,在所述第一阻挡层远离所述柔性衬底的一表面上沉积第二阻挡层,并在所述第二阻挡层形成后,将与所述弯折区对应的所述第二阻挡层进行刻蚀得到图案化第二阻挡层;
在所述图案化第二阻挡层上沉积金属层;
形成所述金属层后,将所述柔性衬底与所述硬性基板进行剥离。
8.根据权利要求7所述的可折叠显示屏的制造方法,其特征在于,所述第一阻挡层为由ITO材料制成的ITO膜层,所述ITO膜层由溅射设备在常温下在所述柔性衬底的一表面上沉积得到,且所述ITO膜层的厚度为20-40nm。
9.根据权利要求7所述的可折叠显示屏的制造方法,其特征在于,所述柔性衬底的材料为聚酰亚胺,在所述硬性基板上涂布所述聚酰亚胺后进行固化得到所述柔性衬底。
10.根据权利要求7所述的可折叠显示屏的制造方法,其特征在于,所述第二阻挡层为由硅氮氧化物或硅氧化物材料制成的无机层,所述无机层由化学气相沉积工艺在腔室温度为300°-400°下成膜得到。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的