[发明专利]TFT基板、具备TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法

权利要求书

1.一种TFT基板，

具有电介质基板和在上述电介质基板上排列的多个天线单位区域，

具备包含上述多个天线单位区域的发送接收区域和位于上述发送接收区域以外的区域的非发送接收区域，

上述多个天线单位区域各自具有TFT和连接到上述TFT的漏极电极的贴片电极，

上述TFT基板的特征在于，具有：

源极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的源极电极、上述漏极电极、连接到上述源极电极的源极总线、以及上述贴片电极；

栅极金属层，其形成在上述源极金属层上，包含上述TFT的栅极电极和连接到上述栅极电极的栅极总线；

栅极绝缘层，其形成在上述源极金属层与上述栅极金属层之间；以及

层间绝缘层，其形成在上述栅极金属层上。

2.根据权利要求1所述的TFT基板，

还具有形成在上述层间绝缘层上的导电层，

具有配置在上述非发送接收区域的栅极-源极连接部，

上述栅极-源极连接部具有：

栅极下部连接配线，其包含于上述源极金属层，与上述源极总线是电分离的；

第1开口部，其形成于上述栅极绝缘层，到达上述栅极下部连接配线；

栅极总线连接部，其包含于上述栅极金属层，连接到上述栅极总线；

第2开口部，其形成于上述层间绝缘层，在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述第1开口部重叠；

第3开口部，其形成于上述层间绝缘层，到达上述栅极总线连接部；以及

栅极上部连接部，其包含于上述导电层，在上述第1开口部内与上述栅极下部连接配线连接，在上述第3开口部内与上述栅极总线连接部连接。

3.根据权利要求2所述的TFT基板，

还具有配置在上述非发送接收区域的栅极端子部，

上述栅极端子部具有：

栅极端子用下部连接部，其包含于上述源极金属层，与上述栅极下部连接配线电连接；

第4开口部，其形成于上述栅极绝缘层，到达上述栅极端子用下部连接部；

第5开口部，其形成于上述层间绝缘层，在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述第4开口部重叠；以及

栅极端子用上部连接部，其包含于上述导电层，在上述第4开口部内与上述栅极端子用下部连接部连接。

4.根据权利要求2或3所述的TFT基板，

上述栅极绝缘层还具有到达上述贴片电极的第6开口部，

上述层间绝缘层具有在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述第6开口部重叠的第7开口部，

上述导电层还包含覆盖上述贴片电极中的通过上述第6开口部露出的部分的贴片导电部。

5.根据权利要求2或3所述的TFT基板，

上述多个天线单位区域各自还具有：

下部辅助电容电极，其包含于上述源极金属层，与上述漏极电极电连接；以及

上部辅助电容电极，其包含于上述栅极金属层，隔着上述栅极绝缘层与上述下部辅助电容电极相对，

上述栅极金属层还包含连接到上述上部辅助电容电极的CS总线，

上述TFT基板还具有配置在上述非发送接收区域的CS-源极连接部，

上述CS-源极连接部具有：

CS下部连接配线，其包含于上述源极金属层，与上述源极总线是电分离的；

第8开口部，其形成于上述栅极绝缘层，到达上述CS下部连接配线；

CS总线连接部，其包含于上述栅极金属层，连接到上述CS总线；

第9开口部，其形成于上述层间绝缘层，在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述第8开口部重叠；

第10开口部，其形成于上述层间绝缘层，到达上述CS总线连接部；以及

CS上部连接部，其包含于上述导电层，在上述第8开口部内与上述CS下部连接配线连接，在上述第10开口部内与上述CS总线连接部连接。