[发明专利]用于工件处理的系统和方法

权利要求书

1.一种用于处理多个工件的处理系统，所述处理系统包括：

负荷固定室，所述负荷固定室包括工件柱，所述工件柱构造成以堆叠布置支撑多个工件；

至少两个处理室，所述至少两个处理室具有至少两个处理站，每个处理站与用于在所述处理室中的处理进行期间支撑工件的工件支撑件相关联；和

传送室，与所述负荷固定室和所述至少两个处理室工艺流程连通；

其中所述传送室包括至少一个旋转式机器人，所述旋转式机器人包括至少一个构造成围绕轴线旋转的臂，所述旋转式机器人构造成将多个工件从所述负荷固定室中的所述工件柱传送到所述至少两个处理室中的所述至少两个处理站。

2.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述旋转式机器人构造成使用剪式运动将所述多个工件从所述负荷固定室中的所述工件柱传送到所述处理室中的所述至少两个处理站。

3.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述至少两个处理室包括第一处理室和第二处理室，所述第一处理室和所述第二处理室中的每一个包括至少两个处理站。

4.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述第一处理室和所述第二处理室设置在所述传送室的相对侧上，使得所述旋转式机器人能够在所述第一处理室和所述第二处理室之间传送所述多个工件。

5.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述第一处理室和所述第二处理室设置成直线布置，所述系统包括传送位，所述传送位构造成以堆叠布置支撑多个工件。

6.根据权利要求5所述的处理系统，其中所述旋转式机器人构造成将多个工件从所述第一处理室中的所述至少两个处理站传送到所述传送位中的所述堆叠布置。

7.根据权利要求5所述的处理系统，其中所述系统包括第二旋转式机器人，所述第二旋转式机器人构造成将多个工件从所述传送位的所述堆叠布置传送到所述第二处理室中的所述至少两个处理站。

8.根据权利要求5所述的处理系统，其中所述传送位位于所述传送室中。

9.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述至少两个处理室包括设置在所述传送室的相对侧上的第一处理室和第二处理室，所述至少两个处理室还包括设置成与所述第一处理室直线布置的第三处理室和设置成与所述第二处理室直线布置的第四处理室，使得所述第三处理室和第四处理室设置在所述传送室的相对侧上，其中所述第一处理室、第二处理室、第三处理室和第四处理室中的每一个包括至少两个处理站。

10.根据权利要求9所述的处理系统，其中所述系统还包括传送位，所述传送位构造成以堆叠布置支撑多个工件，其中所述至少一个旋转式机器人包括第一旋转式机器人和第二旋转式机器人，所述第一旋转式机器人构造成将多个工件从所述负荷固定室中的堆叠布置传送到所述第一处理室中的至少两个处理站，所述第二旋转式机器人构造成将多个工件从所述传送位的堆叠布置传送到所述第三处理室中的至少两个处理站。

11.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述旋转式机器人具有至少一个主臂，所述主臂构造成围绕枢轴点旋转，所述主臂耦合到多个副臂，每个副臂与至少一个工件叶片相关联，所述至少一个工件叶片构造成支撑多个工件中的一个工件。

12.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述旋转式机器人构造成伸展所述臂并且剪式打开所述多个工件叶片，以将所述多个工件传送到所述处理室中的所述至少两个处理站。

13.根据权利要求12所述的处理系统，其中所述旋转式机器人构造成使用单个电机伸展所述臂，并剪式打开所述多个工件叶片。

14.根据权利要求1所述的处理系统，其中所述旋转式机器人包括具有一个或多个工件叶片的第一臂和包括一个或多个工件叶片的第二臂。