[实用新型]一种手动探针台的载片台装置

说明书

本实用新型提供一种手动探针台的载片台装置，包括载片台上表面及侧面、气体孔、凸起部及收容部；通过收容部为手动吸笔提供容置空间，晶圆在转移及定位过程中，避免了人为因素对晶圆产生的污染，提高了晶圆测试结果精准度，同时，减少了晶圆定位时间，提高了生产效率；通过凸起部，对位于载片台上的晶圆起到限位阻挡作用，从而避免晶圆从载片台的上表面滑落，造成碎片。

技术领域

本实用新型属于测试设备领域，涉及一种手动探针台的载片台装置。

背景技术

在半导体行业、光电行业、集成电路以及封装测试的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测晶圆内部的电参数，由于晶片尺寸越来越小，位于晶片上的测试器件也越来越小，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。因此，探针台被广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量中，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和产品制造工艺的成本。

探针台从操作上区分有：手动探针台，半自动探针台，全自动探针台。其中，手动探针台因操作方便，工作人员可根据实际需求对器件进行自主定位，因此，能很好的帮助工作人员实现微小位置的电学参数测试。

现有的手动探针台装置一般包括：显微镜、探针座、载片台。所述载片台用以承载待测试的晶圆，如图1所示，显示为现有的一种手动探针台的载片台装置俯视结构示意图。所述载片台1的上表面包括气体孔2，所述气体孔2连接于气体操控系统(未图示)。所述载片台1的上表面为圆形，用于承载待测试的所述晶圆，所述气体操控系统用于提供吸附待测试的所述晶圆所需的真空，并通过所述气体孔2吸附待测试的所述晶圆。然而，在测试过程中，需采用手动吸笔将待测试的所述晶圆转移至所述载片台1的上表面，而后，手动打开所述气体操控系统吸附待测试的所述晶圆，完成转移过程。在所述转移过程中，为防止所述晶圆上表面被污染，影响测试结果，所述手动吸笔直接与待测试的所述晶圆背面接触。

在将所述晶圆转移至所述载片台1时，一方面，由于所述载片台1不具有收容所述手动吸笔的容置空间，因此，工作人员需手动将所述晶圆从所述手动吸笔上沿所述载片台1侧面向所述载片台中心转移至所述载片台1上，而后对位于所述载片台1上的所述晶圆进行定位，该转移及定位过程由于均采用手动操作，会对所述晶圆产生污染，从而影响所述晶圆的测试结果；另一方面，由于所述载片台1的上表面为水平面且不具有起限位阻挡作用的凸起部，因此，所述晶圆容易从所述载片台1的上表面滑落，造成碎片的风险。

基于以上所述，提供在晶圆转移及定位过程中，可有效避免晶圆被污染，影响测试结果，以及可有效避免晶圆从所述载片台的上表面滑落造成碎片的手动探针台的载片台装置实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种手动探针台的载片台装置，用于解决现有技术中，由于载片台不具有收容手动吸笔的容置空间，造成晶圆在转移及定位过程中，因人为因素所产生的晶圆污染，影响测试结果；以及由于载片台的上表面为水平面且不具有起限位阻挡作用的凸起部，造成所述晶圆容易从所述载片台的上表面滑落造成碎片的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种手动探针台的载片台装置，包括：

载片台，所述载片台具有上表面及侧面，所述上表面用于放置晶圆，所述上表面设有气体孔；

凸起部，凸设于所述上表面的周缘；

收容部，包含自所述载片台的所述侧面向所述载片台中心方向延伸的凹槽，所述凹槽的形状与所述手动吸笔相匹配，以为所述手动吸笔提供容置空间。

优选地，还包括气体分流槽，位于所述上表面，连接于所述气体孔。

优选地，所述气体分流槽为多个同心环形槽。

优选地，所述气体孔均匀分布。

优选地，所述凸起部包含N个，其中N＞1，相对于所述凹槽对称分布。