[实用新型]一种手动探针台的载片台装置有效
| 申请号： | 201721872702.4 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207780071U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 吉仁文 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 载片台 手动探针台 凸起部 载片 收容 本实用新型 定位过程 晶圆测试 晶圆定位 人为因素 容置空间 生产效率 精准度 上表面 滑落 吸笔 限位 阻挡 侧面 污染 | ||
1.一种手动探针台的载片台装置，其特征在于，包括：
载片台，所述载片台具有上表面及侧面，所述上表面用于放置晶圆，所述上表面设有气体孔；
凸起部，凸设于所述上表面的周缘；
收容部，包含自所述载片台的所述侧面向所述载片台中心方向延伸的凹槽，所述凹槽的形状与所述手动吸笔相匹配，以为所述手动吸笔提供容置空间。
2.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：还包括气体分流槽，位于所述上表面，连接于所述气体孔。
3.根据权利要求2所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述气体分流槽为多个同心环形槽。
4.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述气体孔均匀分布。
5.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述凸起部包含N个，其中N＞1，相对于所述凹槽对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述凸起部包围所述上表面的周缘。
7.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述凸起部的位置及形状与所述晶圆匹配，以定位所述晶圆。
8.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述收容部在竖直方向上贯穿所述载片台。
9.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述收容部未贯穿所述载片台，所述收容部的最小空间为容纳所述手动吸笔。
10.根据权利要求1所述的一种手动探针台的载片台装置，其特征在于：所述凹槽横截面由直线及曲线中的一种或组合围成。
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