[实用新型]一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统

说明书

本实用新型涉及电子元器件检测技术领域，公开了一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统，包括：X射线防护框架组件、电脑显示器、电气控制面板、主门、装载门、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置和主板，电脑显示器、电气控制面板、同步气浮减震自平衡装置安装在X射线防护框架组件上；装载门安装在主门上；伺服运动控制组件安装于同步气浮减震自平衡装置上；X射线影像装置安装于伺服运动控制组件上。本实用新型获得三维成像，通过伺服运动控制组件，实现了360°全方位的检测，并通过同步气浮减震自平衡装置作为支撑装置，用来提供平稳的支撑，具有调节同步、平衡性好的优点。

技术领域

本实用新型涉及电子元器件检测技术领域，特别是涉及一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统。

背景技术

X射线实时成像检测系统是电子、半导体行业用来测试电子元器件的内部缺陷的测试系统，通过一定能量的激发产生X射线，X射线穿透被测物体，然后投射到X射线影像装置上，X射线影像装置根据X射线被吸收后的情况，通过计算把被测物体的结构呈现出来，以方便对被测物体的内部缺陷进行分析。

目前X射线实时成像检测系统主要由X射线机、平板探测器、计算机、检测工装以及防护装置组成。其原理是：X射线穿透待测构件后被平板探测器接收，平板探测器将不可见的X射线信号转换为可见光图像，再通过图像采集卡将可见光图像转换为数字图像，并输入到现场的计算机中，在计算机上通过控制软件和图像处理软件实现高质量X射线图像的采集和显示。但是，在数字平板式X射线实时成像检测系统度无损检测上，由于X射线机大多固定不动或者只有两个自由度，因而只能广泛应用在工业产品的简单构件的检测上，无法满足对焊件所有位置焊缝的检测，适用范围受局限。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是X射线机大多固定不动或者只有两个自由度，因而只能广泛应用在工业产品的简单构件的检测上，无法满足对焊件所有位置焊缝的检测，适用范围受局限的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供了一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统，包括：X射线防护框架组件、电脑显示器、电气控制面板、主门、装载门、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置和主板，所述电脑显示器通过显示器支架安装在所述X射线防护框架组件上，所述电气控制面板、所述同步气浮减震自平衡装置、所述主门、所述主板安装于所述X射线防护框架组件上；所述装载门通过铰链安装在所述主门上，用于装载被测物体时作为窗口使用；所述伺服运动控制组件安装于所述同步气浮减震自平衡装置上；所述X射线影像装置安装于所述伺服运动控制组件上，所述X射线管固定在所述主板上，所述高压导联装置安装于所述X射线管底部，所述电气控制面板分别与所述电脑显示器、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置相连接。

优选的，在上述的一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统中，所述伺服运动控制组件，还包括：X马达、X丝杆、承载板、Y马达、Y丝杆、Y板、Z马达、Z向组件、旋转马达、旋转轴、皮带轮、皮带、弧形轨道、左右移动马达和滑动轮，所述X丝杆安装于所述Y板上，所述Y丝杆安装于所述Z向组件上，所述Z向组件安装于所述支撑板上；所述X马达、所述Y马达、所述Z马达、所述旋转马达、所述左右移动马达都与所述电气控制面板相连接；所述X马达通过X丝杠驱动承载板在X方向移动，所述Y马达通过Y丝杆驱动Y板在Y方向上移动，所述Z马达驱动Z向组件在主板的Z方向上移动，所述左右移动马达通过滑动轮带动所述X射线影像装置在弧形轨道上左右旋转，所述旋转马达通过所述旋转轴、皮带轮、皮带驱动弧形轨道前后旋转，用于实现5轴联动。

优选的，在上述的一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统中，所述X射线影像装置通过滑动轮安装于所述弧形轨道上，位于所述X射线管上方。