[发明专利]一种气浮垂向运动装置在审
| 申请号： | 202110262175.X | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN112847285A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B25H3/06 | 分类号： | B25H3/06;H05K13/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本发明的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气浮垂 运动 装置 | ||
【主权项】：
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