[实用新型]一种硅舟

权利要求书

1.一种硅舟，用于硅片在热处理过程中的支承和隔热，其特征在于：所述硅舟包括平行设置且对应的法兰（1）和天板（2），所述法兰和天板之间设有若干用于承托所述硅片的硅齿棒（3），所述硅齿棒内侧设有多个等距且相互平行的沟齿（31），所述硅片插入并搁置于所述沟齿上；所述硅齿棒（3）的横截面呈三角形，其三角形顶端朝向内侧，三角形底边朝向外侧；所述硅齿棒（3）数量为三根，包括两根前沟棒（32）和一根后沟棒（33），前沟棒和后沟棒上的沟齿（31）均设于硅齿棒内侧的三角形顶端，三根硅齿棒上的相应沟齿形成同一平面的硅片容置槽，两根前沟棒上对应沟齿的齿底间距大于硅片宽度，两根前沟棒上对应沟齿的齿顶间距小于硅片宽度，硅片插入对应的硅片容置槽并搁置于沟齿上。

2.根据权利要求 1 所述的一种硅舟，其特征在于：所述硅舟材料为高纯硅。

3.根据权利要求 1所述的一种硅舟，其特征在于：所述沟齿平面呈倾斜状，沟齿（31）顶端向下倾斜，倾斜角度为α。

4.根据权利要求 3 所述的一种硅舟，其特征在于：所述倾斜角度α为 2°。

5.根据权利要求 1 所述的一种硅舟，其特征在于：所述法兰（1）呈环状结构，法兰上设有与所述硅齿棒（3）下端部相吻合且可容置硅齿棒下端部的下卡孔（11），所述天板（2）呈环状结构，天板上设有与硅齿棒上端部相吻合且可容置硅齿棒上端部的上卡孔（21），所述上卡孔和下卡孔一一对应，硅齿棒垂直于法兰平面，硅齿棒的下端部嵌设于下卡孔，硅齿棒的上端部嵌设于上卡孔内。

6.根据权利要求 1 所述的一种硅舟，其特征在于：所述法兰（1）和天板（2）上分别设有一一对应的工艺孔（12），法兰上还设有法兰固定孔（13）。