[实用新型]一种镀膜机及其系统

说明书

一种镀膜机及其系统，其涉及镀膜设备领域。该镀膜机通过可拆卸集成设置蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件，使得蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件之间能够任意拼装组合，从而在一台镀膜机上即可实现蒸碳、溅射和镀膜三项功能；通过配置膜厚仪，实现了镀膜过程中对于膜厚的实时监控；通过设置溅射试验、溅射定时设定功能，实现在设定时间内自动完成溅射流程；通过采用向下蒸碳模式和与带有拉力弹簧的蒸碳组件进行配合使用，实现了蒸碳过程中碳消耗量的自适应调节。因此，上述的镀膜机及其系统，能够集成蒸碳、溅射和镀膜三项功能于一体，降低了使用者的综合购买成本，提高了蒸碳、溅射和镀膜时的工作效率，具备较高的市场推广应用价值。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备领域，具体而言，涉及一种镀膜机及其系统。

背景技术

常见的镀膜机是在真空条件下进行镀膜的一种机器，而现有技术中镀膜机存在的问题在于，只能在较小的空间环境内完成蒸碳、溅射、镀膜三种功能中的一样，设备功能比较单一，大大降低了镀膜机的操作便捷性和工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜机，其能够将蒸碳、溅射和镀膜功能集成于一体进行拼装组合，提高了镀膜机的多功能复合运行能力，使其具备较高的工作效率。

本实用新型的另一目的在于提供一种镀膜机系统，其包括上述的镀膜机，其具有上述镀膜机的各项优点。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种镀膜机，其包括用于进行蒸碳的蒸碳组件、用于溅射的溅射组件和用于镀膜的镀膜组件，蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件均可拆卸设置于镀膜机的密封腔室中。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述镀膜组件包括用于固定试样的圆盘、设置于圆盘上方的金属蒸发头电极以及与金属蒸发头电极电性连接的钨丝加热器，其中，钨丝呈V型，且缠绕着待蒸发物。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述镀膜机包括有操作面板，操作面板设置有样品挡板调节模块组件和样品转速调节模块组件，样品挡板调节模块组件和样品转速调节模块组件与用于控制挡板及圆盘旋转的电机通信电连接，从而控制着镀膜过程中的挡板状态和转速状态，进而通过配置独立的膜厚仪对镀膜过程中的膜厚进行实时监控。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述圆盘与金属蒸发头电极之间还设置有用于支撑挡板的圆弧形夹具，操作面板上设置有挡板按钮开关模块，挡板按钮开关模块与圆弧形夹具联动控制着挡板的位置，从而对待镀膜试样进行遮挡，实现试样的局部镀膜。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述溅射组件包括上极板和下极板，其中，上极板为阴极，使用的是溅射靶材，下极板设置溅射镀膜试样，其处于零点位。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述溅射组件还包括溅射操作面板，溅射操作面板设置有溅射试样模块和正式溅射两个流程模块。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述蒸碳组件包括相对设置的一对蒸碳连接件和一对碳棒，每个碳棒设置于对应蒸碳连接件中，且均露出碳棒接触端，两个碳棒接触端相互接触蒸碳连接；

每个碳棒与对应蒸碳连接件连接的一端设置有拉力弹簧，从而使得两个碳棒相互接触进行蒸碳消耗时，能够不断相互抵靠在一起。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述蒸碳组件可拆卸设置于密封腔室靠近顶端的位置，溅射组件可拆卸设置于密封腔室的底部。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，上述镀膜机包括与密封腔室密封连通的抽真空装置，抽真空装置设置有用于为密封腔室提供低真空环境的机械泵和用于为密封腔室提供高真空环境的分子泵，以及分别用于测量低真空环境和高真空环境的电阻规和冷规。

一种镀膜机系统，其包括上述的镀膜机和与镀膜机相匹配的电路系统。