[实用新型]一种镀膜机及其系统

权利要求书

1.一种镀膜机，其特征在于，其包括用于进行蒸碳的蒸碳组件、用于溅射的溅射组件和用于镀膜的镀膜组件，所述蒸碳组件、所述溅射组件和所述镀膜组件均可拆卸设置于所述镀膜机的密封腔室中。

2.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜组件包括用于固定试样的圆盘、设置于所述圆盘上方的金属蒸发头电极以及与所述金属蒸发头电极电性连接的钨丝加热器，其中，所述钨丝呈V型，且缠绕着待蒸发物。

3.根据权利要求2所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机包括有操作面板，所述操作面板设置有样品挡板调节模块组件和样品转速调节模块组件，所述样品挡板调节模块组件和所述样品转速调节模块组件与用于控制所述挡板及所述圆盘旋转的电机通信电连接，从而控制着镀膜过程中的挡板状态和转速状态，进而通过配置独立的膜厚仪对镀膜过程中的膜厚进行实时监控。

4.根据权利要求3所述的镀膜机，其特征在于，所述圆盘与所述金属蒸发头电极之间还设置有用于支撑挡板的圆弧形夹具，所述操作面板上设置有挡板按钮开关模块，所述挡板按钮开关模块与所述圆弧形夹具联动控制着所述挡板的位置，从而对待镀膜试样进行遮挡，实现所述试样的局部镀膜。

5.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述溅射组件包括上极板和下极板，其中，所述上极板为阴极，使用的是溅射靶材，所述下极板设置溅射镀膜试样，其处于零点位。

6.根据权利要求5所述的镀膜机，其特征在于，所述溅射组件还包括溅射操作面板，所述溅射操作面板设置有溅射试样模块和正式溅射两个流程模块。

7.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述蒸碳组件包括相对设置的一对蒸碳连接件和一对碳棒，每个所述碳棒设置于对应所述蒸碳连接件中，且均露出碳棒接触端，两个所述碳棒接触端相互接触蒸碳连接；

每个所述碳棒与对应所述蒸碳连接件连接的一端设置有拉力弹簧，从而使得两个所述碳棒相互接触进行蒸碳消耗时，能够不断相互抵靠在一起。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的镀膜机，其特征在于，所述蒸碳组件可拆卸设置于所述密封腔室靠近顶端的位置，所述溅射组件可拆卸设置于所述密封腔室的底部。

9.根据权利要求8所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机包括与所述密封腔室密封连通的抽真空装置，所述抽真空装置设置有用于为所述密封腔室提供低真空环境的机械泵和用于为所述密封腔室提供高真空环境的分子泵，以及分别用于测量所述低真空环境和所述高真空环境的电阻规和冷规。

10.一种镀膜机系统，其特征在于，其包括如权利要求1-9任意一项所述的镀膜机和与所述镀膜机相匹配的电路系统。