[实用新型]喷淋式保湿自走机器人

说明书

本实用新型揭示了一种喷淋式保湿自走机器人，包括小车本体、水槽、机械手臂和喷淋装置，水槽位于小车本体上，用于放置基底片，机械手臂位于小车本体上，用于搬运基底片，喷淋装置包括喷嘴，用于对基底片进行喷淋，有效防止晶圆片在运输过程中，晶圆片上的残留粉末干燥硬化，而降低成品率。

技术领域

本实用新型涉及一种喷淋式保湿自走机器人。

背景技术

在半导体或者其它相关行业，在某些工艺制程完成后(如PVD或者CVD工艺)，需要将晶圆表面做机械研磨(比如chemical mechanical polishing工序)，控制表面膜厚或者平整度。在做完机械研磨后，研磨设备先做表面清洗后，再将晶圆片送到下一个设备做深度清洗，在这个传输过程中，研磨工序残留的粉尘会在晶圆片上干燥硬化，而影响晶圆片的成品率。

实用新型内容

本实用新型提供了一种喷淋式保湿自走机器人，克服了现有技术的困难，开创了一种在晶圆片传输过程中能够保证潮湿的喷淋式保湿自走机器人。

本实用新型提供了一种喷淋式保湿自走机器人，包括：

小车本体；

水槽，所述水槽位于所述小车本体上，用于放置基底片；

机械手臂，所述机械手臂位于所述小车本体上，用于搬运所述基底片；

喷淋装置，所述喷淋装置包括喷嘴，用于对所述基底片进行喷淋。

进一步，所述基底片通过盒体放置在水槽内部。

进一步，所述水槽内的水位高度低于所述盒体的高度。

进一步，还包括过滤装置，所述过滤装置位于所述水槽的下部，所述过滤装置包括第一阀、水泵、第二阀、过滤器和第三阀，所述第一阀、所述水泵、所述第二阀、所述过滤器和所述第三阀依次连接，所述第一阀通过出水管连接所述喷嘴，所述第三阀通过进水管连接所述水槽。

进一步，所述喷嘴的数量为多个，且分别设置在所述水槽的两侧；

所述第一阀的数量为两个，且分别与所述水槽两侧的所述喷嘴相对应。

进一步，还包括滤材，所述滤材位于所述水槽内部。

进一步，所述过滤器分别与所述第二阀和所述第三阀为活动连接。

进一步，还包括排水口，所述排水口设置在所述水槽的底部。

进一步，还包括水位报警装置，所述水位报警装置位于所述水槽内。

由于采用了上述技术，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的喷淋式保湿自走机器人通过小车本体和机械手臂结合，实现运输和搬运晶圆片，另外，还增加了水槽和喷淋装置，使晶圆片在运输过程中能够保证湿度，防止晶圆片上的残留粉末干燥硬化，而降低成品率。

以下结合附图及实施例进一步说明本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型所述喷淋式保湿自走机器人的立体图；

图2为本实用新型所述过滤装置的示意图；

图3为本实用新型所述盒体的示意图。

具体实施方式