[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 201721507385.6 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN208584372U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 白井明;川合岩男;宫本裕慈 | 申请（专利权）人： | 白井科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B55/02;B24B55/06;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 日本国大阪府东*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 研磨装置 基板 本实用新型 混合流体 洗涤喷嘴 供给路 中空 盖侧 基材 桌台 进退移动 两端连通 嵌入基板 移动手段 喷嘴 流入端 排出口 吐出口 洗涤水 研磨缘 飞散 碎屑 研削 喷射 吸引 开口 流出 覆盖 配置 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨装置，其特征在于，包括：
附有吸引功能的桌台，其上面是保持供给载置的基板；
旋转砥石，在该桌台前方研磨由该桌台前缘突出的该基板边缘；
盖，覆盖该旋转砥石外侧，且具有用以从该桌台侧周壁嵌入该基板的研磨边缘部分的开口；
排出口，与该盖的底面连通设置；
移动装置，使该桌台或该盖于左右方向进退移动；
左右方向为长型的两基材，支持于该盖侧，并配置于该基板的研磨边缘的上下侧；
左右方向为中空的多个集蓄部，设置于该两基材内；
上侧洗涤喷嘴及下侧洗涤喷嘴，在中空的该集蓄部两端连通流入端，并使该上侧洗涤喷嘴及该下侧洗涤喷嘴的流出口朝向该基板的研磨边缘；
上侧供给路及下侧供给路，设置为在该些集蓄部的中间供给洗涤水与空气的混合流体；以及
喷嘴，支持于该盖侧，并往该旋转砥石与该基板的研磨部位喷射研削水与空气的混合流体。
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