[实用新型]一种真空PVD离子镀膜设备固定结构有效

专利信息
申请号: 201721376998.0 申请日: 2017-10-24
公开(公告)号: CN207313686U 公开(公告)日: 2018-05-04
发明(设计)人: 陈子宇;吴一;彭绍群 申请(专利权)人: 深圳市南方创新真空技术有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 pvd 离子 镀膜 设备 固定 结构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及真空离子镀膜技术领域,具体为一种真空PVD离子镀膜设备固定结构。

背景技术

一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜的功能是多方面的,这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说,真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果,在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能,提供优异的电磁屏蔽和导电效果。

但现有的真空PVD离子镀膜设备,直接通过支撑脚与地面固定,在移动时只能采用人力推动,极大的造成移动困难,同时在移动时容易对真空PVD离子镀膜设备造成一定的损害,真空PVD离子镀膜设备在工作时会产生一定的振动力,影响整体的稳定性。鉴于此,我们提出一种真空PVD离子镀膜设备固定结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空PVD离子镀膜设备固定结构,以解决上述背景技术中提出的直接通过支撑脚与地面固定,在移动时只能采用人力推动,极大的造成移动困难,同时在移动时容易对真空PVD离子镀膜设备造成一定的损害,真空PVD离子镀膜设备在工作时会产生一定的振动力,影响整体的稳定性的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种真空PVD离子镀膜设备固定结构,包括真空镀膜机,所述真空镀膜机的底部安装有支撑座,所述支撑座的底部安装有固定座;

所述支撑座的内部安装有伸缩结构;

所述固定座的底部开设有通槽,所述通槽的内部设置有隔板,所述隔板的表面安装有弹簧;

所述固定座的内部设置有固定板,所述固定板的底部安装有行走板,所述行走板包括脚轮板,所述脚轮板的一侧分别设置有上夹板以及下夹板;

所述脚轮板内部设置有脚轮,所述脚轮一侧设置有转轴,且所述转轴贯穿所述脚轮板,所述脚轮板靠近所述转轴一侧开设有滑槽;

所述上夹板的底部开设有若干个上夹槽,所述上夹板靠近所述脚轮板一侧设置有滑柱,所述上夹板两端安装有贯穿所述上夹板的螺纹杆;

所述下夹板的顶部开设有若干个下夹槽,所述下夹板两端靠近所述螺纹杆的一端开设有安装孔。

优选的,所述伸缩结构包括液压缸、与所述液压缸相通的油箱、用于驱动的液压泵、连接在所述液压缸与所述油箱之间的油管、安装在所述油管表面用于防止回流的单向阀以及贯穿所述液压缸的活塞杆,所述活塞杆与所述固定板通过焊接方式固定连接。

优选的,所述隔板的宽度比所述通槽的宽度小。

优选的,所述行走板与所述通槽相匹配。

优选的,所述下夹板与所述脚轮板固定连接,所述滑柱与所述滑槽滑动连接。

优选的,所述上夹槽与所述下夹槽截面呈圆弧状,且开口方向相反,所述上夹槽和所述下夹槽的直径均与所述转轴的直径相等。

优选的,所述螺纹杆与所述安装孔通过螺纹方式连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果:该真空PVD离子镀膜设备固定结构,通过上夹板和下夹槽紧密将转轴贴合,将转轴固定,使得脚轮无法转动,当脚轮抵触到地面时,可以起到支撑作用,当送开螺纹杆,使得滑柱在滑槽上滑动,使得上夹槽和下夹槽分离,此时转轴活动,脚轮可以转动,有利于通过脚轮进行推动,便于对真空镀膜机移动时的方便以及安全,同时行走板位于通槽的内部,弹簧与地面直接接触,通过弹簧自身的弹力可以对真空镀膜机工作时产生的振动力进行分解,保障真空镀膜机工作时的平稳性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图;

图2为本实用新型固定座结构示意图;

图3为本实用新型支撑座与固定座内部结构示意图;

图4为本实用新型行走板结构爆炸图。

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