[实用新型]一种真空PVD离子镀膜设备固定结构

权利要求书

1.一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机（1），其特征在于：所述真空镀膜机（1）的底部安装有支撑座（2），所述支撑座（2）的底部安装有固定座（3）；

所述支撑座（2）的内部安装有伸缩结构（21）；

所述固定座（3）的底部开设有通槽（31），所述通槽（31）的内部设置有隔板（311），所述隔板（311）的表面安装有弹簧（312）；

所述固定座（3）的内部设置有固定板（32），所述固定板（32）的底部安装有行走板（33），所述行走板（33）包括脚轮板（331），所述脚轮板（331）的一侧分别设置有上夹板（332）以及下夹板（333）；

所述脚轮板（331）内部设置有脚轮（3311），所述脚轮（3311）一侧设置有转轴（3312），且所述转轴（3312）贯穿所述脚轮板（331），所述脚轮板（331）靠近所述转轴（3312）一侧开设有滑槽（3313）；

所述上夹板（332）的底部开设有若干个上夹槽（3321），所述上夹板（332）靠近所述脚轮板（331）一侧设置有滑柱（3322），所述上夹板（332）两端安装有贯穿所述上夹板（332）的螺纹杆（3323）；

所述下夹板（333）的顶部开设有若干个下夹槽（3331），所述下夹板（333）两端靠近所述螺纹杆（3323）的一端开设有安装孔（3332）。

2.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀膜设备固定结构，其特征在于：所述伸缩结构（21）包括液压缸（211）、与所述液压缸（211）相通的油箱（212）、用于驱动的液压泵（213）、连接在所述液压缸（211）与所述油箱（212）之间的油管（214）、安装在所述油管（214）表面用于防止回流的单向阀（215）以及贯穿所述液压缸（211）的活塞杆（216），所述活塞杆（216）与所述固定板（32）通过焊接方式固定连接。

3.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀膜设备固定结构，其特征在于：所述隔板（311）的宽度比所述通槽（31）的宽度小。

4.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀膜设备固定结构，其特征在于：所述行走板（33）与所述通槽（31）相匹配。

5.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀膜设备固定结构，其特征在于：所述下夹板（333）与所述脚轮板（331）固定连接，所述滑柱（3322）与所述滑槽（3313）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀膜设备固定结构，其特征在于：所述上夹槽（3321）与所述下夹槽（3331）截面呈圆弧状，且开口方向相反，所述上夹槽（3321）和所述下夹槽（3331）的直径均与所述转轴（3312）的直径相等。

7.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀膜设备固定结构，其特征在于：所述螺纹杆（3323）与所述安装孔（3332）通过螺纹方式连接。