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[实用新型]一种晶振头随转膜厚自动监控系统-CN201920114533.0有效
发明人：吴一;彭绍群;王金林 -专利权人：深圳市南方创新真空技术有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶振头随转膜厚自动监控系统，涉及膜厚自动监控系统技术领域，包括真空室，所述真空室的一侧设置有PLC控制器，且真空室的一侧位于PLC控制器的旁边位置处设置有触摸屏，所述真空室的上方位于中心位置处设置有导电滑环。本实用新型设计新颖，结构简单，使用方便，具有较高的稳定性，通过PLC控制器控制驱动组件带动晶振探头转动，从而对基片的膜厚进行检测，检测信号由输出导线传输给晶振膜厚仪进行运算得出膜厚数值，同时将数值传递给PLC控制器的显示端，解决了传统无线输出控制方法的不稳定性因素，使得基片膜厚检测工作更加稳定，提高了工作效率，且无需人员干预，增加了实用性。
真空室膜厚自动监控系统本实用新型晶振控制驱动组件中心位置处不稳定性导电滑环工作效率检测信号输出导线输出控制数值传递触摸屏基片膜膜厚仪位置处显示端检测探头振头种晶转膜运算转动传输干预

[实用新型]一种全方位真空镀膜装置-CN201721377618.5有效
发明人：陈子宇;吴一;彭绍群 -专利权人：深圳市南方创新真空技术有限公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种全方位真空镀膜装置，包括装置本体，装置本体包括镀膜装置以及安装在镀膜装置一侧的电器柜，镀膜装置包括用于镀膜的真空仓以及安装在真空仓底部的电机箱。该全方位真空镀膜装置，通过齿轮转动，进而带动锥齿在传动槽内部旋转，带动放置板在放置板槽内部转动，有利于对放置板进行全方位的转动，此时放置板内部的手表可以全方位的接收溅射原子，可以充分的对手表连接处的间隙内进行镀膜，提高了镀膜的效果，实现全方位镀膜。
放置板镀膜真空镀膜装置镀膜装置装置本体真空仓转动手表真空镀膜技术本实用新型齿轮转动槽内部传动槽电机箱电器柜溅射锥齿

[实用新型]一种用于真空镀膜生产的转运车-CN201721376414.X有效
发明人：陈子宇;吴一;彭绍群 -专利权人：深圳市南方创新真空技术有限公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种用于真空镀膜生产的转运车，包括转运车箱体以及设置于转运车箱体底部的导向轮，其特征在于：转运车箱体的顶部与侧面交接处通过铰链安装有箱盖，箱盖的内壁上设置有预热网，每两块相邻的隔板之间设置有镀件放置槽，支架远离转轴的一端部设置有与收纳挂钩位置相对应且型号相匹配的挂环，手推杆的两侧的支架与转运车箱体之间还设置有限位带，横杆中心位置设置有橡胶套。本实用新型通过预热网对镀件放置槽进行预热，防止温差太大，造成镀件的镀膜效果变差；挂环和收纳挂钩的共同作用可以将手推杆进行收纳，节约占用的空间；操作人员通过推动手推杆进行推进工作，提高工作效率。
一种用于真空镀膜生产转运

[实用新型]一种真空PVD离子镀膜设备固定结构-CN201721376998.0有效
发明人：陈子宇;吴一;彭绍群 -专利权人：深圳市南方创新真空技术有限公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空离子镀膜技术领域，尤其为一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机，真空镀膜机的底部安装有支撑座，支撑座的底部安装有固定座。该真空PVD离子镀膜设备固定结构，通过上夹板和下夹槽紧密将转轴贴合，将转轴固定，使得脚轮无法转动，当脚轮抵触到地面时，可以起到支撑作用，当送开螺纹杆，使得滑柱在滑槽上滑动，使得上夹槽和下夹槽分离，此时转轴活动，脚轮可以转动，有利于通过脚轮进行推动，便于对真空镀膜机移动时的方便以及安全，同时行走板位于通槽的内部，弹簧与地面直接接触，通过弹簧自身的弹力可以对真空镀膜机工作时产生的振动力进行分解，保障真空镀膜机工作时的平稳性。
一种真空 pvd 离子镀膜设备固定结构

[实用新型]一种五金配件真空镀膜夹持装置-CN201721376961.8有效
发明人：陈子宇;吴一;彭绍群 -专利权人：深圳市南方创新真空技术有限公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜相关设备技术领域，尤其为一种五金配件真空镀膜夹持装置，包括底座和夹持块，所述底座上安装有两个左右对称的支撑柱，每个所述支撑柱上均通过多个安装座固定件固定安装有夹持机构安装座，所述夹持机构安装座上安装有夹持机构，所述夹持机构包括侧支撑板，所述侧支撑板上靠近两端的位置均安装有侧固定杆，上下两个所述侧固定杆上分别固定安装有第一定位套筒和第二定位套筒，且上下两个侧固定杆之间安装有中间固定杆，所述中间固定杆上安装有两个相互平行的齿轮，所述第一定位套筒和第二定位套筒内部分别设有第一卡位销销孔和第二卡位销销孔，该装置操作便捷，且能适用不同尺寸的五金配件的夹持固定需要，具有较强的实用性。
一种五金配件真空镀膜夹持装置