[实用新型]一种真空PVD离子镀膜设备固定结构有效

专利信息
申请号: 201721376998.0 申请日: 2017-10-24
公开(公告)号: CN207313686U 公开(公告)日: 2018-05-04
发明(设计)人: 陈子宇;吴一;彭绍群 申请(专利权)人: 深圳市南方创新真空技术有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及真空离子镀膜技术领域,尤其为一种真空PVD离子镀膜设备固定结构,包括真空镀膜机,真空镀膜机的底部安装有支撑座,支撑座的底部安装有固定座。该真空PVD离子镀膜设备固定结构,通过上夹板和下夹槽紧密将转轴贴合,将转轴固定,使得脚轮无法转动,当脚轮抵触到地面时,可以起到支撑作用,当送开螺纹杆,使得滑柱在滑槽上滑动,使得上夹槽和下夹槽分离,此时转轴活动,脚轮可以转动,有利于通过脚轮进行推动,便于对真空镀膜机移动时的方便以及安全,同时行走板位于通槽的内部,弹簧与地面直接接触,通过弹簧自身的弹力可以对真空镀膜机工作时产生的振动力进行分解,保障真空镀膜机工作时的平稳性。
搜索关键词: 一种 真空 pvd 离子 镀膜 设备 固定 结构
【主权项】:
一种真空PVD离子镀膜设备固定结构,包括真空镀膜机(1),其特征在于:所述真空镀膜机(1)的底部安装有支撑座(2),所述支撑座(2)的底部安装有固定座(3);所述支撑座(2)的内部安装有伸缩结构(21);所述固定座(3)的底部开设有通槽(31),所述通槽(31)的内部设置有隔板(311),所述隔板(311)的表面安装有弹簧(312);所述固定座(3)的内部设置有固定板(32),所述固定板(32)的底部安装有行走板(33),所述行走板(33)包括脚轮板(331),所述脚轮板(331)的一侧分别设置有上夹板(332)以及下夹板(333);所述脚轮板(331)内部设置有脚轮(3311),所述脚轮(3311)一侧设置有转轴(3312),且所述转轴(3312)贯穿所述脚轮板(331),所述脚轮板(331)靠近所述转轴(3312)一侧开设有滑槽(3313);所述上夹板(332)的底部开设有若干个上夹槽(3321),所述上夹板(332)靠近所述脚轮板(331)一侧设置有滑柱(3322),所述上夹板(332)两端安装有贯穿所述上夹板(332)的螺纹杆(3323);所述下夹板(333)的顶部开设有若干个下夹槽(3331),所述下夹板(333)两端靠近所述螺纹杆(3323)的一端开设有安装孔(3332)。
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