[实用新型]自动测方阻设备

权利要求书

1.一种自动测方阻设备，其特征在于：包括上料部分、测试部分、下料部分和控制部分，所述上料部分包括上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)和校正区(4)，所述测试部分包括测试区(5)，所述下料部分包括第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)，所述上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)、校正区(4)、测试区(5)、第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)呈流水线依次设置，所述控制部分分别控制上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)、校正区(4)、测试区(5)、第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)。

2.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述上料区(1)包括传输装置，两组所述传输装置上下间隔设置，所述传输装置的右侧固定安装有右光电传感器，所述右光电传感器与所述控制部分电连接。

3.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述下片区(2)包括下片装置、夹紧装置和输送装置，所述下片装置包括联动装置和固定台(2-1)，所述联动装置驱动所述固定台(2-1)实现升降，所述夹紧装置固定安装在所述固定台(2-1)的上方，所述输送装置包括传输装置和活动运输装置，所述传输装置固定安装在所述固定台(2-1)上，并位于所述夹紧装置的正下方，所述活动运输装置位于夹紧装置与传输装置之间。

4.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述第一缓存区(3)和第二缓存区(6)均包括联动装置、传输装置和储物篮，所述储物篮罩设所述传输装置，所述联动装置驱动所述储物篮实现升降。

5.如权利要求4所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述储物篮包括卡板(3-1)，两个所述卡板(3-1)平行且间隔设置，所述传输装置位于两个所述卡板(3-1)之间，所述卡板(3-1)上开设有若干缓存槽(3-2)，两个所述卡板(3-1)上的缓存槽(3-2)一一对应设置，所述卡板(3-1)上固定安装有左、右光电传感器，所述左、右光电传感器分别位于缓存槽(3-2)的两端。

6.如权利要求1所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述校正区(4)包括传输装置、左、右光电传感器和校准装置，所述校准装置包括呈排排列的滑轮组(4-1)和驱动装置，两组所述滑轮组(4-1)分别位于传输装置的两侧，并与所述传输装置平行设置，所述滑轮组(4-1)由驱动装置驱动靠近或远离传输装置，所述左、右光电传感器分别位于传输装置的两端。

7.如权利要求2所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述测试区(5)包括传输装置、测试平台(5-1)、测试四探针面板和升降装置，所述测试四探针面板固定安装在所述测试平台(5-1)上，所述测试平台(5-1)位于所述传输装置的正上方，所述升降装置位于所述传输装置的正下方，所述升降装置上固定安装有用于放置硅片的载物台(5-2)，所述升降装置驱动载物台(5-2)上的硅片靠近或远离测试平台(5-1)，所述测试区(5)的左、右两侧分别固定安装有左、右光电传感器，所述左、右光电传感器均与所述控制部分电连接。

8.如权利要求2所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述分片区(7)包括传输装置和运动装置，所述传输装置的左侧固定安装有左光电传感器，所述左光电传感器与所述控制部分电连接，所述运动装置包括联动装置、升降装置和吸盘(7-1)，所述联动装置位于所述传输装置的正上方，用于驱动升降装置向传输装置的前方或后方移动，所述升降装置滑动安装在所述联动装置上，所述吸盘(7-1)固定安装在所述升降装置上。

9.如权利要求3所述的自动测方阻设备，其特征在于：所述上片区(8)包括上片装置、夹紧装置和输送装置，所述上片装置包括联动装置和固定台(2-1)，所述联动装置驱动所述固定台(2-1)实现升降，所述夹紧装置固定安装在所述固定台(2-1)的上方，所述输送装置包括传输装置和活动运输装置，所述传输装置固定安装在所述固定台(2-1)上，并位于所述夹紧装置的正下方，所述活动运输装置位于夹紧装置与传输装置之间。