[实用新型]一种拉晶炉有效
申请号: | 201721326259.0 | 申请日: | 2017-10-13 |
公开(公告)号: | CN207391599U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 王玉亮;陈世斌 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/10;C30B15/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100027 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉晶炉 | ||
本实用新型涉及太阳能光伏行业中的硅芯生长技术领域,公开了一种拉晶炉,包括拉晶炉炉体,炉体内设置有保温筒,所述保温筒上方设置有与其配合的保温盖,所述保温盖包括间隔设置的上盖和下盖,所述下盖设置在所述保温筒的上端面上,所述上盖靠近导流筒的一侧的上方固定有定位环,所述上盖设置在所述定位环的上方,所述上盖与所述下盖之间设置有黏胶软毡。本实用新型提供的拉晶炉通过将保温盖分成上下两部分,并在上盖和下盖之间用黏胶软毡进行填充,增强了拉晶炉的上部空间的保温效果,相应的降低了整个拉晶炉的电能消耗,降低了生产成本并节约了能源。
技术领域
本实用新型涉及太阳能光伏行业中的硅芯生长技术领域,尤其涉及一种拉晶炉。
背景技术
在多晶产品生产中,硅芯是原生硅生长的载体,原生硅成品棒是通过硅芯的导电性能使其在高温下通过化学气相沉积法生长而成的,所以,硅芯质量直接影响原生硅成品棒质量。
现在市场上的硅价下探,利润压缩甚至亏损,硅芯的成本份额越来越不可忽视。好的热场是提高硅芯质量,压缩成本的关键。国内现有热场,拉制出来的硅芯经常存在以下问题:一次出硅芯数量不足;拉速低整体用时长生产效率低;生产电能消耗高;硅芯弯曲度不合格;表面附着力不强等。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型提供一种拉晶炉,以解决现有硅芯生长热场电能消耗高的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种拉晶炉,包括拉晶炉炉体,所述拉晶炉炉体内自上而下依次设置有导流筒和坩埚,在所述拉晶炉炉体内壁与所述导流筒、坩埚之间设置有保温筒,所述保温筒上方设置有与其配合的保温盖,所述保温筒下方设置有与之其配合的底盘;
所述导流筒的顶部穿设在所述保温盖之间,所述保温盖包括间隔设置的上盖和下盖,所述下盖设置在所述保温筒的上端上,所述上盖靠近所述导流筒的一侧的上方固定有定位环,所述上盖设置在所述定位环的上方,所述上盖与所述下盖之间在所述定位环的外围设置有黏胶软毡。
进一步地,所述导流筒包括间距设置的外筒和内筒,所述外筒和内筒之间设置有保温毡。
进一步地,所述坩埚的下方设置有底加热器,围绕所述坩埚的外周设置有侧加热器,所述导流筒位于所述侧加热器的上方;
所述保温筒包括依次连接的上筒、中筒和下筒,其中所述上筒与所述中筒通过支撑环连接,所述上筒对应设置在所述导流筒的外围,所述中筒对应设置在所述侧加热器的外围,所述下筒设置在所述底加热器的外围。
进一步地,所述保温筒的外周壁上设置有多层黏胶软毡。
进一步地,所述底盘的下方设置有固化毡保温底板。
进一步地,所述内筒为漏斗形,所述外筒的纵截面为底面开口的U 形,所述外筒的底面开口与所述内筒的底面开口对齐设置,且所述内筒的底端放置在所述外筒的底壁上。
进一步地,所述外筒和内筒之间的保温毡包括将所述内筒与所述外筒的上端隔开的固化毡以及填充在所述外筒与所述内筒形成的空隙内的黏胶软毡。
进一步地,所述内筒的内壁的倾斜角度为27°-30°。
进一步地,所述导流筒的上端设置有吊爪。
优选的,所述上盖的外径为1000mm-1200mm,所述上盖的内径为 640mm-750mm,所述下盖的外径为750mm-950mm,所述下盖的内径为640mm-750mm;
所述定位环的高度为70mm-120mm,所述定位环外围的黏胶软毡的厚度为50mm-100mm;
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