[实用新型]一种拉晶炉有效
申请号: | 201721326259.0 | 申请日: | 2017-10-13 |
公开(公告)号: | CN207391599U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 王玉亮;陈世斌 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/10;C30B15/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100027 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉晶炉 | ||
1.一种拉晶炉,其特征在于:包括拉晶炉炉体,所述拉晶炉炉体内自上而下依次设置有导流筒和坩埚,在所述拉晶炉炉体内壁与所述导流筒、坩埚之间设置有保温筒,所述保温筒上方设置有与其配合的保温盖,所述保温筒下方设置有与之其配合的底盘;
所述导流筒的顶部穿设在所述保温盖之间,所述保温盖包括间隔设置的上盖和下盖,所述下盖设置在所述保温筒的上端上,所述上盖靠近所述导流筒的一侧的上方固定有定位环,所述上盖设置在所述定位环的上方,所述上盖与所述下盖之间在所述定位环的外围设置有黏胶软毡。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于:所述导流筒包括间距设置的外筒和内筒,所述外筒和内筒之间设置有保温毡。
3.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于:所述坩埚的下方设置有底加热器,围绕所述坩埚的外周设置有侧加热器,所述导流筒位于所述侧加热器的上方;
所述保温筒包括依次连接的上筒、中筒和下筒,其中所述上筒与所述中筒通过支撑环连接,所述上筒对应设置在所述导流筒的外围,所述中筒对应设置在所述侧加热器的外围,所述下筒设置在所述底加热器的外围。
4.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于:所述保温筒的外周壁上设置有多层黏胶软毡。
5.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征在于:所述底盘的下方设置有固化毡保温底板。
6.根据权利要求2所述的拉晶炉,其特征在于:所述内筒为漏斗形,所述外筒的纵截面为底面开口的U形,所述外筒的底面开口与所述内筒的底面开口对齐设置,且所述内筒的底端放置在所述外筒的底壁上。
7.根据权利要求6所述的拉晶炉,其特征在于:所述外筒和内筒之间的保温毡包括将所述内筒与所述外筒的上端隔开的固化毡以及填充在所述外筒与所述内筒形成的空隙内的黏胶软毡。
8.根据权利要求6所述的拉晶炉,其特征在于:所述内筒的内壁的倾斜角度为27°-30°。
9.根据权利要求8所述的拉晶炉,其特征在于:所述导流筒的上端设置有吊爪。
10.根据权利要求1-9任一项所述的拉晶炉,其特征在于:所述上盖的外径为1000mm-1200mm,所述上盖的内径为640mm-750mm,所述下盖的外径为750mm-950mm,所述下盖的内径为640mm-750mm;
所述定位环的高度为70mm-120mm,所述定位环外围的黏胶软毡的厚度为50mm-100mm;
所述导流筒的高度为510mm-600mm,所述导流筒的底端开口内径为250mm-340mm,内筒与外筒之间的最大距离为100mm-130mm;
上筒的内径为750mm-950mm,上筒的高度为350mm-450mm,上筒的壁厚为12mm-40mm;
保温筒外周上的黏胶软毡为6-9层,厚度共为60mm-100mm;
底盘的下方的固化毡保温底板的厚度为100mm-220mm。
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