[实用新型]一种半导体硅棒活动对中调节装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体硅棒金刚线切割技术领域，特别涉及一种半导体硅棒活动对中调节装置。

背景技术

总所周知，单晶硅具有较高的光电转换效率，随着我国半导体技术的逐步成熟，中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体硅片件在制造时，需将硅棒进行切割截断，以便于通过后续的工序加工成硅片。在实际的生产过程中，由于生产出来的半导体硅棒不可能是标准的圆柱体，表面会出现凹凸不平的状态，目前大多是硅棒都采用固定的楔形块支撑，这种支撑方式结构简单，但是不能够调节，因而无法满足需求。有人在楔形块支撑的此基础上，增加一根丝杆滑块等结构，能够实现楔形块活动可调，但是这种结构由于是单向的，调节起来比较费时。还有一些采用气缸支撑方式，这种支撑方式可以实现自动化，但是由于气体具有可压缩性，因而这种支撑并不能是很牢固，会出现一定程度的压缩倒退现象。综上所述，硅棒对中调节技术一直是硅棒切割领域中的一个难题，如何克服硅棒表面的不规则形状，设计一种方便可靠的对中调节机构，对提升产品切割质量、提升材料利用率有很大的帮助。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中在支撑硅棒时硅棒轴线的水平度低，硅棒倾斜导致硅棒后续生产质量低的问题，而提供一种半导体硅棒活动对中调节装置。

一种半导体硅棒活动对中调节装置，包括一个支撑平台，所述支撑平台上至少设有一对用于放置硅棒的对中调节机构，所述对中调节机构包括安装在滑槽上的左右旋梯形丝杆；所述左右旋梯形丝杆两端分别具有旋转方向相反的螺纹，该两处螺纹分别与左旋螺母和右旋螺母配合连接，所述左旋螺母和右旋螺母用于在左右旋梯形丝杆转动时反向运动；所述左旋螺母和右旋螺母上分别装有楔形支撑块，所述一对楔形支撑块相对称。

优选的，所述对中调节机构至少设有三个，其两端的对中调节机构分别固定在所述支撑平台上，处于中间的对中调节机构用于在所述支撑平台的长度方向上水平移动。

优选的，所述用于水平移动的对中调节机构下方相应的安装有活动机构，所述活动机构包括与对中调节机构固定连接的结构件，可转动的安装在所述结构件上的转轴及与转轴连接的手轮；所述转轴上配合固定装有齿轮，该齿轮与固定在支撑平台上的一齿条啮合传动，所述活动机构的结构件与安装在所述支撑平台上的导轨滑块组件配合连接。所述齿轮通过手轮转动，带动活动机构和对中调节机构在导轨滑块上滑动。

优选的，所述靠近手轮的转轴处设有抱死机构，该抱死机构安装在活动机构上，所述抱死机构与所述转轴同心设置，所述抱死机构用于在抱死时使转轴停止转动。所述抱死机构在未抱死时，抱死机构与转轴同心设置且互不干涉；当抱死机构抱死时，通过摩擦力使转轴不转动，进一步的使齿轮不动，从而使活动机构不动。

优选的，所述活动机构具有间隙，一钣金防护罩壳沿所述支撑平台的长度方向穿过该间隙并且不与所述活动机构发生干涉。

优选的，还包括安装在支撑平台上并位于活动机构一侧、且位于所述钣金防护罩壳下方的风琴护罩。

优选的，所述的支撑平台的两端设置有头尾支撑架。

优选的，所述对中调节机构的滑槽内注有润滑脂，用于保护左右旋梯形丝杆和左旋螺母及右旋螺母。

优选的，所述的对中调节机构还包括一横板，所述横板穿过所述的一对楔形支撑块，所述横板上设有尼龙。

本实用新型提供一种半导体硅棒活动对中调节装置，该装置能够适应不同长度硅棒的切割要求，同时硅棒的放置高度可以根据实际情况进行调节，保证硅棒轴线的水平度，解决目前普遍存在的面斜问题。双层防护结构的设计，能够有效的防水防尘。

提供一种半导体硅棒活动对中调节装置，该装置主要包括头尾支撑架、活动机构、对中调节机构以及双层防护机构等。所述的活动机构带有抱死机构，该机构方便实用，能够让活动机构停在某个位置保持不动。所述的对中调节机构由一根左右旋梯形丝杆带动两侧的斜支撑块同时运动，这样能保证硅棒在一个方向上的直线度。

所述的对中调节机构装有一块横板，不同的对中调节机构的横板上可以横放一块尼龙，用于支撑薄片切割时支撑硅片时用，当金刚线切透后可以直接割透尼龙，可以起到保护金刚线和硅片的作用。所述的对中调节机构的密封机构由外层钣金护罩和内填充润滑油脂组成，防护效果好。所述的头尾支撑架能够起到支撑硅棒头尾的作用，在硅棒去头尾时防止切断后的硅块直接砸坏其他零部件。所述的密封机构由两层防护装置构成：外层钣金护罩和内层风琴护罩，外层钣金护罩可以抵挡大的硅块掉落或者水流冲击对内层风琴护罩照成的破坏，内层风琴护罩可以很好的起到隔绝水和部分尘的作用。