[实用新型]一种半导体硅棒活动对中调节装置

权利要求书

1.一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：包括一个支撑平台，所述支撑平台上至少设有一对用于放置硅棒的对中调节机构，所述对中调节机构包括安装在滑槽上的左右旋梯形丝杆；所述左右旋梯形丝杆两端分别具有旋转方向相反的螺纹，该两处螺纹分别与左旋螺母和右旋螺母配合连接，所述左旋螺母和右旋螺母用于在左右旋梯形丝杆转动时反向运动；所述左旋螺母和右旋螺母上分别装有楔形支撑块，所述一对楔形支撑块相对称。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述对中调节机构至少设有三个，其两端的对中调节机构分别固定在所述支撑平台上，处于中间的对中调节机构用于在所述支撑平台的长度方向上水平移动。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述用于水平移动的对中调节机构下方相应的安装有活动机构，所述活动机构包括与对中调节机构固定连接的结构件，可转动的安装在所述结构件上的转轴及与转轴连接的手轮；所述转轴上配合固定装有齿轮，该齿轮与固定在支撑平台上的一齿条啮合传动，所述活动机构的结构件与安装在所述支撑平台上的导轨滑块组件配合连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述靠近手轮的转轴处设有抱死机构，该抱死机构安装在活动机构上，所述抱死机构与所述转轴同心设置，所述抱死机构用于在抱死时使转轴停止转动。

5.根据权利要求3或4所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述活动机构具有一间隙，一钣金防护罩壳沿所述支撑平台的长度方向穿过该间隙并且不与所述活动机构发生干涉。

6.根据权利要求5所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：还包括安装在支撑平台上并位于活动机构一侧、且位于所述钣金防护罩壳下方的风琴护罩。

7.根据权利要求1-4任一所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述的支撑平台的两端设置有头尾支撑架。

8.根据权利要求1所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述对中调节机构的滑槽内注有润滑脂，用于保护左右旋梯形丝杆和左旋螺母及右旋螺母。

9.根据权利要求8所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置，其特征在于：所述的对中调节机构还包括一横板，所述横板穿过所述的一对楔形支撑块，所述横板上设有尼龙。