[实用新型]易于安装的石墨舟用定位柱

权利要求书

1.易于安装的石墨舟用定位柱，包括石墨制成的定位柱，所述定位柱包括一用于安装至舟片的定位孔中的安装部，所述安装部的左右两侧分别固定连接有一用于固定硅片的硅片卡接部，其特征在于，所述安装部包括左右设置的第一安装部与第二安装部；

所述第一安装部的右侧设有凸起，所述第二安装部的左侧设有与所述凸起相匹配的凹槽，且所述凸起的外壁设有外螺纹，所述凹槽的内壁设有与外螺纹相匹配的内螺纹；

所述第一安装部与所述第二安装部通过所述内螺纹与所述外螺纹螺纹连接；

还包括在第一安装部与第二安装部旋紧时用于夹紧舟片的夹持机构，所述夹持机构包括石墨制成的第一挡板、石墨制成的第二挡板，所述第一挡板固定在所述第一安装部，所述第二挡板固定在所述第二安装部。

2.根据权利要求1所述的易于安装的石墨舟用定位柱，其特征在于：所述第一挡板接触舟片侧呈平面状，所述第一挡板的厚度从靠近第一安装部处至远离第一安装部处逐渐递减，所述第一挡板上设有第一通孔；

所述第二挡板接触舟片侧呈平面状，所述第二挡板的厚度从靠近第二安装部处至远离第二安装部处逐渐递减。

3.根据权利要求1所述的易于安装的石墨舟用定位柱，其特征在于：所述硅片卡接部包括一限位块，所述限位块远离安装部侧的横截面呈菱形，所述限位块靠近安装部侧的横截面呈椭圆；

所述椭圆沿着轴向的投影内切于所述菱形；

所述限位块与安装部之间设有一横截面与限位块的最小横截面处相匹配的椭圆柱段；

所述椭圆柱段的外壁与硅片的外轮廓相抵。