[实用新型]太阳能硅片二合一自动上下料设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种自动化设备，特别涉及一种用于太阳能电池硅片的干法制绒、PECVD镀膜等处理工艺中的太阳能硅片二合一自动上下料设备。

背景技术

近些年来环保要求越来越高，化石能源的污染问题越来越受到重视，而且由于化石能源的不可再生性，寻求新的能源形式迫在眉睫。在众多新型能源中，光伏发电技术脱颖而出。在光伏发电技术中硅片是核心元件，而生产太阳能硅片的工序繁多，包括从其前期的硅材料提纯、铸锭、开方、切片，到后期的制绒、扩散、清洗、PECVD镀膜、印刷、烧结等工序，也就是说，在硅锭被切成硅片后，其还要经过很多工序处理才能使其成为有着发电功能的电池片。由于硅片的生产要求较高，而且其有着易碎的属性，硅片在各个工序之间的流转成了问题。

申请号为201110167739.8的中国实用新型专利公开了一种在线式全自动硅片上下料机，其包括 PLC、上料机、下料机和在线硅片工艺处理设备，上料机、下料机和在线硅片工艺处理设备均与 PLC 电连接，并在 PLC 中设置的程序的控制下实现硅片的上料，硅片的工艺处理和硅片下料的在线式全自动生产，上料机包括供片机构、横向传送定位机构、上料升降换向机构和上料纵向传送皮带；下料机包括下料纵向传送皮带、下料升降换向机构和下料横向传送定位机构；纵向传送皮带、升降换向机构和横向传送定位机构三者配合完成硅片的两次 L 形方向的换向传送。该实用新型的上料机与下料机分别位于在线硅片工艺处理设备的两侧，即上料与下料单独完成，因而不能有效实现上料设备与下料设备的协同周转，具有局限性。

申请号为201110458861.0的中国实用新型专利公开了一种用于板式 PECVD 设备的硅片自动上下料系统，该系统包括安装于PECVD 设备的进料端侧的主机架、控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于主机架的横向两侧，硅片转运机构沿纵向布置、并安装于待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，硅片的横向搬运机构安装于主机架上、并横跨于待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方。该实用新型由于采用横向搬运机构安装于主机架上、并横跨于待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方的结构，因而其待处理硅片及已处理硅片的周转周期较长。

申请号为201210579113.2的中国实用新型涉及一种用于 PECVD 设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、第二运输机构、第二小车定位机构、第二石墨舟定位机构与第二搬运小车。该实用新型具有两套平行设置的硅片自动上下料装置以分别对应两套PECVD 设备，并在两套硅片自动上下料装置中间采用机械手实现未处理与已处理硅片的周转，两套设备独立运行且通过机械手实现空料盒、未处理硅片及已处理硅片在两套设备间的周转，但不能形成回转结构而不能实现有效的协同。

申请号为201520524820.0的中国实用新型公开了一种硅片上下料装置，其包括硅片盒、石墨舟、机架、硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手，硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手依次设置在机架上，硅片盒经硅片盒输送机构送至硅片盒升降机构上，并由第一输送线将硅片盒上的硅片输送到第一储料中转机构，再由取片机械手将硅片取出，放置在石墨舟内。该实用新型的上下料过程均在同一端通过石墨舟抓取机构完成未处理及已处理硅片的周转，其周转周期长且效率较低。