[实用新型]外延机台取片手臂高度实时监控系统

权利要求书

1.一种外延机台取片手臂高度实时监控系统，其特征在于，包括：取片手臂，用于取硅片；高度监控装置，用于实时监控取片手臂的高度是否为允许高度范围，如取片手臂的高度超出允许高度范围即报警。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述的高度监控装置包括：金属块，设置于取片手臂上；位移传感器，设置于金属块的正上方，采集金属块高度信息；放大器，与传感器相连，将金属块高度信息转为电压模拟信号；外延机台，接收电压模拟信号并通过网络传输至控制终端以判断电压模拟信号是否为允许电压范围。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述的取片手臂包括：旋转手臂和设置于旋转手臂端部的取片手，其中，旋转手臂可旋转地设置，取片手吸取硅片，旋转手臂和取片手的连接处设置金属块。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述的取片手臂设置于硅片传送腔中。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述的硅片设置于预抽真空室中，预抽真空室与硅片传送腔连通，位移传感器设置于预抽真空室的顶部。

6.根据权利要求1-5任一项所述的系统，其特征在于，所述的硅片于竖直方向层叠摆放，底部设置升降台。

7.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述的允许电压范围为2.65V～3.98V。

8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述的位移传感器位于金属块正上方的290～310mm。