[实用新型]一种高导电石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟，尤其涉及一种高导电石墨舟。

背景技术

太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结这六大工序。其中，镀膜工序是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜，以减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用石墨舟，一般是操作人员将花篮中的硅片插入专门的石墨舟或者通过自动上下料机将硅片插入专门的石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过固定卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。

现有的石墨舟一般采用3个固定卡点卡住硅片的三条边，将硅片固定住。但是，在使用过程中，石墨舟会发生磨损，表面会变得粗糙，导致硅片划伤以及镀膜的不均匀，增加了电池产品的外观不良率，降低了电池的光电转换效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可提高电池外观良品率、提高电池的光电转换效率的高导电石墨舟。

本实用新型的目的通过以下的技术措施来实现：一种高导电石墨舟，其特征在于：它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的数个单元舟片组成，所述单元舟片为竖直设置的片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，位于两外侧的单元舟片上的内外表面上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于每个外侧单元舟片内外表面上的凹槽相对应，在凹槽的槽底面上设有贯通该对应凹槽的用于抽真空的细孔，位于中间的单元舟片上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的外围设有用于固定硅片的卡点，硅片贴附在凹槽和通孔上由卡点固定且硅片的周缘遮挡在凹槽和通孔的周边区域上，在所述卡点上以及凹槽和通孔的周边区域上均涂覆有耐磨导电涂层。

本实用新型由在水平方向上排布的若干个单元舟片组成，在单元舟片上设有呈阵列排布的若干个凹槽和通孔，可以根据镀膜工艺的实际情况和需要，调整待镀膜硅片在单元舟片上的阵列分布，从而提高硅片镀膜的均匀性。而且，在凹槽和通孔的外围设有用于固定硅片的卡点，在卡点上以及凹槽和通孔的周边区域上均涂覆有石墨烯涂层，石墨烯涂层具有极高的导电性和耐磨性，可以显著减轻石墨舟表面的磨损，提高石墨舟的导电性，保证硅片镀膜均匀和避免硅片划伤，从而提升太阳能电池的外观合格率和光电转换效率。

作为本实用新型的一种实施方式，所述耐磨导电涂层为石墨烯涂层，石墨烯涂层的成分为石墨烯、苯胺低聚物、分散介质及涂料助剂。

作为本实用新型的一种实施方式，所述单元舟片的数量为2～50，相邻单元舟片之间的间距为5～50mm。

作为本实用新型的一种实施方式，所述凹槽和通孔在其所处的单元舟片上呈阵列均匀分布，阵列的形状为正方形、长方形、圆形或六边形等。位于每个单元舟片上的凹槽和通孔的数量分别为5～20，相邻的通孔之间、相邻的凹槽之间的距离为5～300mm。

作为本实用新型的一种实施方式，所述凹槽的深度为0.5～10mm，所述通孔的深度与单元舟片的厚度相同，为2～10mm。

作为本实用新型的一种实施方式，所述单元舟片上的凹槽和通孔的周边区域的宽度为2～30mm。

作为本实用新型的一种实施方式，所述绝缘棒采用陶瓷棒，所述陶瓷棒水平贯穿全部的单元舟片并在两外侧的单元舟片上通过固定部件固定，绝缘棒也可以采用其它绝缘材料制成。

与现有技术相比，本实用新型具有以下显著的优点：

⑴本实用新型在卡点上以及凹槽和通孔的周边区域上均涂覆有石墨烯涂层，石墨烯涂层具有极高的导电性和耐磨性，可以显著减轻石墨舟表面的磨损，提高石墨舟的导电性，保证硅片镀膜均匀，和避免硅片划伤从而提升太阳能电池的外观合格率和光电转换效率。

⑵本实用新型由在水平方向上排布的若干个单元舟片组成，在单元舟片上设有呈阵列排布的若干个凹槽和通孔，可以根据镀膜工艺的实际情况和需要，调整待镀膜硅片在单元舟片上的阵列分布，从而提高硅片镀膜的均匀性。

⑶本实用新型结构简单，容易实现，实用性强，适于广泛推广和适用。

附图说明

以下结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型位于中间的单元舟片上的通孔的结构示意图；