[发明专利]半导体元件在审

专利信息
申请号: 201711294348.6 申请日: 2017-12-08
公开(公告)号: CN109904159A 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 何万迅;邢溯 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L27/11 分类号: H01L27/11;H01L29/423
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 栅极线 阱线 基底 随机存取存储单元 半导体元件
【权利要求书】:

1.一种半导体元件,具有形成在基底上由六个晶体管构成的静态随机存取存储单元,其特征在于,该静态随机存取存储单元包括:

第一与第二P型金属氧化物半导体晶体管,形成于在基底中的N-阱线区的上方;

第一与第二N型金属氧化物半导体晶体管形成于在基底中的第一P-阱线区的上方,在该N-阱线区的第一边;

第三与第四N型金属氧化物半导体晶体管,形成于在基底中的第二P-阱线区的上方,在该N-阱线区的第二边;

第一栅极线连接该第一P型金属氧化物半导体晶体管与该第一N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;

第二栅极线连接该第二N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;

第三栅极线连接该第二P型金属氧化物半导体晶体管与该第三N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;以及

第四栅极线连接该第四N型金属氧化物半导体晶体管的栅极,

其中该第一栅极线与该第三栅极线是L形状。

2.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该第一栅极线、该第二栅极线、第三栅极线、第四栅极线在该基底上方围成一个长方型。

3.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该第二栅极线与该第四栅极线是L形状或是直线形状。

4.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该基底是硅基底。

5.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该基底是硅在绝缘体上(SOI)的基底,包括顶硅层,用于形成该N-阱线区,该第一P-阱线区与该第二P-阱线区。

6.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该第一P型金属氧化物半导体晶体管与该第一N型金属氧化物半导体晶体管构成第一反相器,该第二P型金属氧化物半导体晶体管与该第三N型金属氧化物半导体晶体管构成第二反相器。

7.根据权利要求6所述的半导体元件,其特征在于,该第二N型金属氧化物半导体晶体管与该第四N型金属氧化物半导体晶体管,当作开关元件。

8.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,多个该静态随机存取存储单元沿着该N-阱线区,该第一P-阱线区与该第二P-阱线区形成。

9.根据权利要求8所述的半导体元件,其特征在于,多个该N-阱线区,多个该第一P-阱线区与多个第二P-阱线区是平行延伸,构成静态随机存取存储单元阵列。

10.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,还包括栅极绝缘层至少在该第一到第四栅极线与该基底之间,分别在该第一与第二P型金属氧化物半导体晶体管以及该第一到第四N型金属氧化物半导体晶体管中。

11.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,还包括第一与第二P型重掺杂区域在基底中,分别沿着该第一栅极线与该第三栅极线的弯折部分的外边,其中该第一与第二P型重掺杂区域与该第一栅极线与该第三栅极线的该弯折部、该第一与第二P-阱线区、以及N型源/漏区域,分别构成与接地端连接的第一栅二极管与第二栅二极管。

12.一种半导体元件,具有形成在基底上由六个晶体管构成的静态随机存取存储单元,其特征在于,该静态随机存取存储单元包括:

第一反相器与第二反相器,反相并联耦接于第一节点与第二节点之间,该第一反相器具有第一P型金属氧化物半导体晶体管及第一N型金属氧化物半导体晶体管,该第二反相器具有第二P型金属氧化物半导体晶体管及第二N型金属氧化物半导体晶体管;

第一开关晶体管,连接于该第二节点;

第二开关晶体管,连接于该第一节点;以及

第一、第二、第三、第四栅极线,分别连接该第一反相器、该第一开关晶体管、该第二反相器、该第二开关晶体管的多个栅极,

其中该第一栅极线与该第三栅极线,分别对应于该第一与第二N型金属氧化物半导体晶体管,在末端具有弯折部分,以构成L形状。

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