[发明专利]半导体元件在审
申请号: | 201711294348.6 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN109904159A | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 何万迅;邢溯 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11 | 分类号: | H01L27/11;H01L29/423 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 栅极线 阱线 基底 随机存取存储单元 半导体元件 | ||
1.一种半导体元件,具有形成在基底上由六个晶体管构成的静态随机存取存储单元,其特征在于,该静态随机存取存储单元包括:
第一与第二P型金属氧化物半导体晶体管,形成于在基底中的N-阱线区的上方;
第一与第二N型金属氧化物半导体晶体管形成于在基底中的第一P-阱线区的上方,在该N-阱线区的第一边;
第三与第四N型金属氧化物半导体晶体管,形成于在基底中的第二P-阱线区的上方,在该N-阱线区的第二边;
第一栅极线连接该第一P型金属氧化物半导体晶体管与该第一N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;
第二栅极线连接该第二N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;
第三栅极线连接该第二P型金属氧化物半导体晶体管与该第三N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;以及
第四栅极线连接该第四N型金属氧化物半导体晶体管的栅极,
其中该第一栅极线与该第三栅极线是L形状。
2.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该第一栅极线、该第二栅极线、第三栅极线、第四栅极线在该基底上方围成一个长方型。
3.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该第二栅极线与该第四栅极线是L形状或是直线形状。
4.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该基底是硅基底。
5.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该基底是硅在绝缘体上(SOI)的基底,包括顶硅层,用于形成该N-阱线区,该第一P-阱线区与该第二P-阱线区。
6.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,该第一P型金属氧化物半导体晶体管与该第一N型金属氧化物半导体晶体管构成第一反相器,该第二P型金属氧化物半导体晶体管与该第三N型金属氧化物半导体晶体管构成第二反相器。
7.根据权利要求6所述的半导体元件,其特征在于,该第二N型金属氧化物半导体晶体管与该第四N型金属氧化物半导体晶体管,当作开关元件。
8.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,多个该静态随机存取存储单元沿着该N-阱线区,该第一P-阱线区与该第二P-阱线区形成。
9.根据权利要求8所述的半导体元件,其特征在于,多个该N-阱线区,多个该第一P-阱线区与多个第二P-阱线区是平行延伸,构成静态随机存取存储单元阵列。
10.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,还包括栅极绝缘层至少在该第一到第四栅极线与该基底之间,分别在该第一与第二P型金属氧化物半导体晶体管以及该第一到第四N型金属氧化物半导体晶体管中。
11.根据权利要求1所述的半导体元件,其特征在于,还包括第一与第二P型重掺杂区域在基底中,分别沿着该第一栅极线与该第三栅极线的弯折部分的外边,其中该第一与第二P型重掺杂区域与该第一栅极线与该第三栅极线的该弯折部、该第一与第二P-阱线区、以及N型源/漏区域,分别构成与接地端连接的第一栅二极管与第二栅二极管。
12.一种半导体元件,具有形成在基底上由六个晶体管构成的静态随机存取存储单元,其特征在于,该静态随机存取存储单元包括:
第一反相器与第二反相器,反相并联耦接于第一节点与第二节点之间,该第一反相器具有第一P型金属氧化物半导体晶体管及第一N型金属氧化物半导体晶体管,该第二反相器具有第二P型金属氧化物半导体晶体管及第二N型金属氧化物半导体晶体管;
第一开关晶体管,连接于该第二节点;
第二开关晶体管,连接于该第一节点;以及
第一、第二、第三、第四栅极线,分别连接该第一反相器、该第一开关晶体管、该第二反相器、该第二开关晶体管的多个栅极,
其中该第一栅极线与该第三栅极线,分别对应于该第一与第二N型金属氧化物半导体晶体管,在末端具有弯折部分,以构成L形状。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的