[发明专利]加工装置的搬送机构有效

专利信息
申请号: 201711294061.3 申请日: 2017-12-08
公开(公告)号: CN108231641B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 福冈武臣 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/304
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 加工 装置 机构
【权利要求书】:

1.一种加工装置的搬送机构,其设置在加工装置中,该加工装置具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;加工单元,其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工;以及加工进给单元,其使该卡盘工作台在对该被加工物进行加工的加工区域与搬出或搬入该被加工物的搬出搬入区域之间沿加工进给方向移动,该加工装置的搬送机构相对于该搬出搬入区域的该卡盘工作台搬出或搬入该被加工物,该加工装置的搬送机构的特征在于,其具有:

装载工作台,其与该搬出搬入区域相邻,在该加工进给单元的侧方的区域隔着间隔件层叠被加工物而进行支承;

卸载工作台,其与该搬出搬入区域相邻,在夹着该加工进给单元与该装载工作台相反的一侧的区域隔着该间隔件层叠加工后的该被加工物而进行支承;以及

搬送单元,其具有被加工物保持部和间隔件保持部,该搬送单元将该被加工物和该间隔件一起从该装载工作台搬出而仅将该被加工物搬入至该卡盘工作台,使从该装载工作台搬出而保持支承状态的该间隔件与加工后的该被加工物重叠而将加工后的该被加工物和该间隔件一起从该卡盘工作台搬入至该卸载工作台。

2.根据权利要求1所述的加工装置的搬送机构,其特征在于,

该搬送单元具有:

装载工作台移动单元,其使该装载工作台移动至正上方区域,该正上方区域位于被定位于该搬出搬入区域的该卡盘工作台的正上方;

卸载工作台移动单元,其使该卸载工作台移动至该正上方区域;以及

换载单元,其在铅垂方向上移动,在定位于该搬出搬入区域的该卡盘工作台与定位于该正上方区域的该装载工作台或该卸载工作台之间对该被加工物和该间隔件进行搬送。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置的搬送机构,其特征在于,

该被加工物是在环状框架的开口中利用粘接带支承着被加工物的框架单元,

该装载工作台或该卸载工作台具有抵顶部,该抵顶部限制该框架单元在面方向上移动。

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