[发明专利]衬底及其制备方法、有机发光二极管显示器件有效
申请号: | 201711274870.8 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN108039420B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 汪军;李广耀;王东方;刘军;袁广才;程磊磊 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/00 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 及其 制备 方法 有机 发光二极管 显示 器件 | ||
1.一种衬底的制备方法,其特征在于,包括:
提供一金属箔;
以具有周期性凸起图案的光栅板为模板,通过热压方式在所述金属箔表面形成周期性排列的多个凹坑微结构;
以所述金属箔为阳极,以碳棒为阴极,以酸性溶液为电解液进行电解,以对所述金属箔进行氧化,使其表面形成多个厚度呈周期性变化的金属氧化层;
将阴极和阳极调换,以所述金属箔为阴极,以碳棒为阳极,以酸性溶液为电解液进行电解,以通过酸性溶液剥离所述金属氧化层,去除所述金属氧化层的同时在所述金属箔表面形成有多个凹陷陷光微结构。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述提供一金属箔包括:
对金属片进行表面压平处理,并去除金属片表面的天然氧化膜;
对所述金属片进行化学抛光后形成所述金属箔。
3.一种有机发光二极管显示器件,其特征在于,包括由如权利要求1或2所述制备方法制得的衬底、依次设置在所述衬底上的平坦层、阳极、有机发光层和阴极;所述衬底包括金属箔,所述金属箔所采用的金属材料可进行阳极氧化,所述金属箔表面形成有多个凹陷陷光微结构。
4.根据权利要求3所述的有机发光二极管显示器件,其特征在于,多个所述凹陷陷光微结构呈蜂窝状排列。
5.根据权利要求3或4所述的有机发光二极管显示器件,其特征在于,所述金属箔为铝箔或者钛箔。
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