[发明专利]输送装置

权利要求书

1.一种输送装置，对基板进行输送，在该输送装置中，从基板输送方向上的上游侧朝向下游侧依次设置有：

基板投入部，其将基板投入到所述输送装置；

间歇进给部，其对被投入到所述输送装置的基板进行间歇进给；以及

基板搬出部，其将被间歇进给的基板搬出到所述输送装置之外，

并且，该输送装置具备对基板的输送进行控制的控制部，

其中，所述基板投入部具备：第一输送路径，其用于输送基板；第一传感器，其设置于该基板投入部的基板投入口附近；以及第二传感器，其配置于基板的输送方向上的所述第一传感器的下游侧，

所述间歇进给部具备：第二输送路径，其用于输送基板；以及第三传感器，其位于基板的输送方向上的该间歇进给部的上游端附近，

在所述第二传感器检测到在所述第一输送路径中输送的基板、所述第三传感器未检测到所述基板的在前基板并且所述第一传感器检测到所述基板的情况下，所述控制部使所述基板的输送继续，直到所述第一传感器检测不到所述基板为止。

2.一种输送装置，对基板进行输送，在该输送装置中，从基板输送方向上的上游侧朝向下游侧依次设置有：

基板投入部，其将基板投入到所述输送装置；

间歇进给部，其对被投入到所述输送装置的基板进行间歇进给；以及

基板搬出部，其将被间歇进给的基板搬出到所述输送装置之外，

并且，该输送装置具备对基板的输送进行控制的控制部，

其中，所述基板投入部具备：第一输送路径，其用于输送基板；第一传感器，其设置于该基板投入部的基板投入口附近；以及第二传感器，其配置于基板的输送方向上的所述第一传感器的下游侧，

所述间歇进给部具备：第二输送路径，其用于输送基板；以及第三传感器，其位于基板的输送方向上的该间歇进给部的上游端附近，

在所述第二传感器检测到在所述第一输送路径中输送的基板、且所述第三传感器检测到所述基板的在前基板的情况下，所述控制部使所述基板的输送待机，

在所述第二传感器检测到在所述第一输送路径中输送的基板、所述第三传感器未检测到所述基板的在前基板并且所述第一传感器检测到所述基板的情况下，所述控制部使所述基板的输送继续，直到所述第一传感器检测不到所述基板为止。

3.一种输送装置，对基板进行输送，在该输送装置中，从基板输送方向上的上游侧朝向下游侧依次设置有：

基板投入部，其将基板投入到所述输送装置；

间歇进给部，其对被投入到所述输送装置的基板进行间歇进给；以及

基板搬出部，其将被间歇进给的基板搬出到所述输送装置之外，

并且，该输送装置具备对基板的输送进行控制的控制部，

其中，所述基板投入部具备：第一输送路径，其用于输送基板；第一传感器，其设置于该基板投入部的基板投入口附近；以及第二传感器，其配置于基板的输送方向上的所述第一传感器的下游侧，

所述间歇进给部具备：第二输送路径，其用于输送基板；以及第三传感器，其位于基板的输送方向上的该间歇进给部的上游端附近，

所述输送装置还具备推进件，该推进件将在所述第一输送路径中输送的基板推送到所述第二输送路径，

在所述第二传感器检测到在所述第一输送路径中输送的基板、且所述第三传感器检测到所述基板的在前基板的情况下，所述控制部使所述基板的输送待机，

在所述第一传感器未检测到在所述第一输送路径中输送的基板、所述第二传感器检测到所述基板并且所述第三传感器未检测到所述基板的在前基板的情况下，所述控制部驱动所述推进件。

4.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

具备推进件，该推进件将在该第一输送路径中输送的基板推送到所述第二输送路径，

在所述第一传感器未检测到在所述第一输送路径中输送的基板、所述第二传感器检测到所述基板并且所述第三传感器未检测到所述基板的在前基板的情况下，所述控制部驱动所述推进件。