[发明专利]一种可用于高温炉的坩埚夹持专用机械手

权利要求书

1.一种可用于高温炉的坩埚夹持专用机械手，包括坩埚夹持装置、动力隔热装置和三向移动块(7)，所述三向移动块可以带动所述坩埚夹持装置、所述动力隔热装置实现在空间三个正交方向的任意同步移动，其特征在于：所述坩埚夹持装置包括两组结构完全相同的可以夹持陶瓷坩埚(1)的坩埚夹持本体(2)，两个可以同步反向运动的螺母滑块组合体(31)、双向丝杠(33)、装设于所述双向丝杠(33)上的锥齿轮B(35)、与所述锥齿轮B(35)相啮合传动的锥齿轮A(34)；所述动力隔热装置包括热屏蔽管(4)、装设有所述锥齿轮A(34)的传动轴(36)、两个分别装设于所述热屏蔽管(4)两端的轴承(5)；

所述坩埚夹持本体(2)由镍镉材料制作，其前端部分为可以夹持所述陶瓷坩埚(1)的半圆形卡手，其后端部分的水平截面为狭长的梯形；所述坩埚夹持本体(2)的末端装设于所述螺母滑块组合体(31)上，末端的宽度为其前端宽度的3倍；所述坩埚夹持本体(2)的半圆形卡手的曲率半径为所述陶瓷坩埚(1)曲率半径的0.8倍，夹持时确保所述半圆形卡手四条线接触所述陶瓷坩埚(1)；

所述热屏蔽管(4)的内壁到所述传动轴(36)外壁之间的距离不小于5mm；所述传动轴(36)的下端与装设于所述热屏蔽管(4)下端的步进电机(6)的输出轴采用绝热材料相连；所述热屏蔽管(4)装设于所述三向移动块(7)上。