[发明专利]一种湿法制备薄膜方法

权利要求书

1.一种湿法制备薄膜方法，其特征在于，包括：

将溶质金属化合物溶解于有机溶剂中，得到前驱体溶液；

根据所述前驱体溶液制备初始薄膜；

对所述初始薄膜进行前期退火；

前期退火完成后进行指定次数循环的水蒸气热处理，获得成品薄膜；

所述前期退火完成后进行指定次数循环的水蒸气热处理，获得成品薄膜，具体包括：

将经退火后的所述初始薄膜放入退火炉中的石英舟上，所述退火炉温度从常温升至400℃；

向所述退火炉中通入水蒸气，所述水蒸气通入时间保持10s；

所述退火炉保持400℃恒温干燥30s后再次通入水蒸气进行下一次循环；

进行10～15次循环过程，得到成品薄膜。

2.根据权利要求1所述的湿法制备薄膜方法，其特征在于，所述将溶质金属化合物溶解于有机溶剂中，得到前驱体溶液，具体包括：

根据所述溶质金属化合物和所述有机溶剂的混合摩尔比，将所述溶质金属化合物溶解于所述有机溶剂中得到混合溶液；

对所述混合溶液进行混合、搅拌，待所述混合溶液澄清后，得到前驱体溶液。

3.根据权利要求1所述的湿法制备薄膜方法，其特征在于，所述根据所述前驱体溶液制备初始薄膜，具体包括：

将普通玻璃载片作为衬底，用分析纯丙酮、酒精和去离子水依次对所述衬底进行超声波清洗；

对清洗过的所述衬底进行烘干；

对烘干后的所述衬底根据所述前驱体溶液进行涂抹，得到初始薄膜。

4.根据权利要求1所述的湿法制备薄膜方法，其特征在于，所述对所述初始薄膜进行前期退火，具体包括：

退火温度为100～200℃，退火时间为10min，气氛为空气。