[发明专利]一种高效的缺陷抽检方法及系统

权利要求书

1.一种高效的缺陷抽检方法，应用于集成电路制造领域，其特征在于，所有产品按照进入生产线的顺序生成产品批次的批号，所述生产线上设置有多个检测站，所述检测站间隔地设置在所述生产线的多道工序之间，每道所述工序上设置有多个生产设备；

所述高效的缺陷抽检方法包括以下步骤：

步骤S1：根据产品批号的尾数确定抽检批次；

步骤S2：从上一被检测产品批次开始，所述检测站对经过所述检测站的所有产品批次按照所述生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

步骤S3：在所述检测站完成对上一次检测后，将所述间隔批次数与用户输入的第一预设值进行比较；

若所述间隔批次数小于所述第一预设值时，则进入步骤S4；

若所述间隔批次数不小于所述第一预设值时，则进入步骤S5；

步骤S4：对应的所述生产设备优先生产非抽检批次，返回步骤S3；

步骤S5：判断经过所述检测站的所有产品批次中是否存在所述抽检批次；

若存在所述抽检批次，则进入步骤S6；

若不存在所述抽检批次，则进入步骤S7；

步骤S6：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述抽检批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2；

步骤S7：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3；

所述步骤S7包括以下步骤：

步骤S71：判断对应的所述生产设备后续生产的所述产品批次中是否存在所述抽检批次；

若不存在所述抽检批次，进入步骤S72；

若存在所述抽检批次，进入步骤S73；

步骤S72：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述产品批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2；

步骤S73：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3。

2.根据权利要求1所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，在所述步骤S6中，还包括以下步骤：

步骤S61：在所述检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，判断所述第一比值与用户输入的第二预设值进行比较；

若所述第一比值小于所述第二预设值，则进入步骤S62；

若所述第一比值不小于所述第二预设值，所述检测站放弃检测，进入步骤S7；

步骤S62：所述检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

3.根据权利要求2所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，在所述步骤S72中，还包括以下步骤：

步骤S721：在所述检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，判断所述第二比值与所述第二预设值进行比较；

若所述第二比值小于所述第二预设值，则进入步骤S722；

若所述第二比值不小于所述第二预设值，则进入步骤S723；

步骤S722：所述检测站开始下一次检测，返回步骤S2；

步骤S723：所述检测站放弃检测，返回步骤S71。

4.根据权利要求1所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，所述步骤S2还包括：

步骤S21：进行计数之前，判断经过所述检测站的所述产品批次是否为报废或返工批次；

若为报废或返工批次，则进入步骤S22；

若不是报废或返工批次，则进入步骤S23；

步骤S22：将所述产品批次不计为经过所述检测站的产品批次；

步骤S23：对所述间隔批次数进行更新计数。