[发明专利]一种用于真空环境曲轨传动装置

说明书

本发明公开一种用于真空环境曲轨传动装置，包括导轨、腔体支撑调节机构、传动杆和电缸；导轨上放置若干小车，导轨通过螺钉固定于腔体支撑调节机构，小车的底部通过卡簧与滑块连接；传动杆依次贯穿真空密封机构、真空腔和插板阀，传动杆一端与若干小车中的最后一节小车连接，另一端与电缸连接，传动杆在运动过程中，通过真空腔、真空密封机构进行密封。本发明采用曲线传动装置，可增大传动装置的运动半径范围，具有准确性高的特点，同时在不破坏真空环境的情况下可更换不同检测装置，具有结构简单、使用方便、可靠性高、工作效率高以及成本低的特点，为真空内部的相关调试和后期维护提供可靠的服务。

技术领域

本发明属于机械传动技术领域，涉及到一种用于真空环境曲轨传动装置。

背景技术

现有的运动手段多采用直线传动装置，在真空环境结构复杂、空间受到限制时，直线传动装置可运动的半径范围小，不能进行更为准确、完整的运动半径以及准确运动到指定得位置，且打开真空环境更换不同类型的运动装置易破坏真空，无法为真空内部得相关调试和后期维护提供可靠得服务，具有工作效率低得问题，同时大大增加了检测成本，为了改善现有得直线传动装置，故需要一种可运动半径大、精度高、无需开腔更换不同类型的机械装置的装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于真空环境曲轨传动装置，解决了真空环境内部因空间受限制，造成传统运动装置难以放置以及传动装置得运动范围小，无法准确运动到指定位置的问题，造成工作效率低和成本高的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于真空环境曲轨传动装置，包括导轨、腔体支撑调节机构、传动杆和电缸；

导轨上开有T型槽，导轨上放置若干小车，小车的底部通过卡簧与滑块连接，相邻的两小车间通过铰链连接；

腔体支撑调节机构固定在主机内部，安装于导轨的下方，导轨和腔体支撑调节机构通过螺钉固定；

传动杆依次贯穿真空密封机构、真空腔和插板阀，传动杆一端与若干小车中的最后一节小车连接，另一端与电缸连接，传动杆在运动过程中，通过真空腔、真空密封机构进行密封；

所述真空腔、真空密封机构和电缸均安装在台架上，台架的下端安装有高度调节机构。

进一步地，所述真空腔内部安装有可调机构，所述可调机构包括转动手轮、齿轮齿条机构、下导轨和直线导轨，转动手轮的输出轴与齿轮齿条机构相互啮合，齿轮齿条机构与下导轨连接，下导轨上端与直线导轨固定连接。

进一步地，位于若干小车中的第一节小车的前端安装有探头。

进一步地，所述电缸带动传动杆在导轨中滑行，其运行的速度范围为2～5 mm/s，降低传动杆在导轨中运动造成的机械扰动。

进一步地，所述真空密封机构为自由伸缩的焊接真空波纹管，所述真空密封机构两端安装有真空密封CF法兰。

本发明的有益效果：

本发明在真空环境中采用曲线传动装置，可增大传动装置的运动半径范围，通过将传动杆分别与电缸和小车连接，并结合插板阀、真空腔和真空密封机构，可使小车准确到达需到达的位置，具有准确性高和增大运动范围的特点，同时在不破坏真空环境的情况下可更换不同检测装置，具有结构简单、使用方便、可靠性高、工作效率高以及成本低的特点，为真空内部的相关调试和后期维护提供可靠的服务。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一种用于真空环境曲轨传动装置的局部示意图；