[发明专利]一种用于真空环境曲轨传动装置

权利要求书

1.一种用于真空环境曲轨传动装置，其特征在于：包括导轨(1)、腔体 支撑调节机构(4)、传动杆(6)和电缸(10)；

导轨(1)上开有T型槽，导轨(1)上放置若干小车(3)，小车(3)的底部通过卡簧与滑块(2)连接，相邻的两小车(3)间通过铰链(5)连接；

腔体支撑调节机构(4)固定在主机内部，安装于导轨(1)的下方，导轨(1)和腔体支撑调节机构(4)通过螺钉固定；

传动杆(6)依次贯穿真空密封机构(9)、真空腔(8)和插板阀(7)，传动杆(6)一端与若干小车(3)中的最后一节小车(3)连接，另一端与电缸(10)连接，传动杆(6)在运动过程中，通过真空腔(8)、真空密封机构(9)进行密封；

所述真空腔(8)、真空密封机构(9)和电缸(10)均安装在台架(11)上，台架(11)的下端安装有高度调节机构(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空环境曲轨传动装置，其特征在于：所述真空腔(8)内部安装有可调机构，所述可调机构包括转动手轮(13)、齿轮齿条机构(14)、下导轨(15)和直线导轨(16)，转动手轮(13)的输出轴与齿轮齿条机构(14)相互啮合，齿轮齿条机构(14)与下导轨(15)连接，下导轨(15)上端与直线导轨(16)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空环境曲轨传动装置，其特征在于：位于若干小车(3)中的第一节小车(3)的前端安装有探头。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空环境曲轨传动装置，其特征在于：所述电缸(10)带动传动杆(6)在导轨(1)中滑行，其运行的速度范围为2～5mm/s，降低传动杆(6)在导轨(1)中运动造成的机械扰动。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空环境曲轨传动装置，其特征在于：所述真空密封机构(9)为自由伸缩的焊接真空波纹管，所述真空密封机构(9)两端安装有真空密封CF法兰。