[发明专利]脱泡装置有效
申请号: | 201710959501.6 | 申请日: | 2017-10-16 |
公开(公告)号: | CN107706225B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 秦学思 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/67 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脱泡 装置 | ||
1.一种脱泡装置,其特征在于:
包括密封仓,所述密封仓内部从上到下依次设置有第一鼓风单元、第一加热单元、第一微孔板、第二微孔板、第二加热单元和第二鼓风单元;
所述第一鼓风单元设第一出风口,所述第一出风口朝向所述第一加热单元喷出第一气流,所述第二鼓风单元设第二出风口,所述第二出风口朝向所述第二加热单元喷出第二气流;
所述第一加热单元与所述第二加热单元用于对流经的气体加热,所述第一气流流经所述第一加热单元后温度升高,继续向所述第一微孔板流动,所述第二气流流经所述第二加热单元后温度升高,继续向所述第二微孔板流动;
所述第一微孔板和所述第二微孔板相对设置,所述第一微孔板上的微孔和所述第二微孔板上的微孔均为通孔,所述微孔用于分别通过所述第一气流和所述第二气流;
所述第一微孔板和所述第二微孔板之间为脱泡层,所述第一气流与所述第二气流分别从所述密封仓的两端流入所述脱泡层;
待脱泡的OLED面板设于所述脱泡层内,所述待脱泡面板在所述第一气流和所述第二气流的共同作用下悬浮于所述脱泡层内,所述第一微孔板设置第一旋转机构,所述第二微孔板设有第二旋转机构,所述脱泡装置内设有控制单元,所述控制单元控制所述第一旋转机构和所述第二旋转机构的旋转,从而带动所述第一微孔板与所述第二微孔板在所述密封仓内部发生旋转,所述第一旋转机构和所述第二旋转机构的旋向相反。
2.如权利要求1所述脱泡装置,其特征在于,所述控制单元用于实时控制所述第一鼓风单元和所述第二鼓风单元的出气量。
3.如权利要求1所述脱泡装置,其特征在于,所述第一微孔板和所述第二微孔板上的所述微孔形状均相同。
4.如权利要求3所述脱泡装置,其特征在于,所述微孔形状为锥形,所述锥形开口较小的一端朝向所述脱泡层,所述第一微孔板上的所述锥形微孔开口较大的一端朝向所述第一加热单元,所述第二微孔板上的所述锥形微孔开口较大的一端朝向所述第二加热单元。
5.如权利要求1所述脱泡装置,其特征在于,所述微孔在所述第一微孔板和所述第二微孔板上均为不规则排列或矩阵式排列。
6.如权利要求1所述脱泡装置,其特征在于,所述第一加热单元和所述第二加热单元分别设置在所述第一微孔板和所述第二微孔板上,气流通过所述第一微孔板和所述第二微孔板后温度升高。
7.如权利要求1所述脱泡装置,其特征在于,所述第一加热单元和所述第二加热单元分别设置在所述第一鼓风单元和所述第二鼓风单元内部,所述第一出风口和所述第二出风口吹出的气流为高温气流。
8.如权利要求1所述脱泡装置,其特征在于,所述密封仓内还设有监测单元,用于监测所述待脱泡面板的姿态,并将监测数据传给所述控制单元,所述控制单元根据接收到的数据以调整所述第一鼓风单元和所述第二鼓风单元的功率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的