[发明专利]一种准单晶电池的制备方法有效
| 申请号: | 201710891347.3 | 申请日: | 2017-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN107623055B | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
| 发明(设计)人: | 王海涛;包健;廖晖;李林东;陈伟;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
| 地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 准单晶 电池 制备 方法 | ||
本发明涉及一种准单晶电池的制备方法,包括如下步骤:将准单晶硅片在第一预设温度的第一混合液中浸泡第一预设时间,其中第一混合液包括氢氟酸与双氧水;向第一混合液中加入第二混合液以得到中性混合液,并将准单晶硅片在中性混合液中清洗第二预设时间,其中第二混合液包括氢氧化钾以及氢氧化铵;将预清洗后的准单晶硅片在第二预设温度的第三混合液中酸洗第三预设时间;将经酸洗后的准单晶硅片依次进行化学反应刻蚀以及物理离子轰击处理;将干法黑硅处理后的准单晶硅片依次进行硼扩散、磷扩散、镀膜以及印刷电极处理后得到准单晶电池。本发明制备得到的准单晶电池,绒面陷光效果较好,电池转换效率较高,提高了电池质量。
技术领域
本发明涉及太阳能电池制备技术领域,特别涉及一种准单晶电池的制备方法。
背景技术
近年来,随着燃料资源的逐步紧缺,太阳能电池作为一种新的能量利用方式,由于其具有清洁且可再生等优点,已经逐步得到了越来越广泛的应用研究。
在太阳能电池的制备过程中,N型准单晶硅片也是一种较为常见的硅片原料。N型准单晶指的是一种在单晶籽晶基础上通过定向凝固方式生长出的一种新型晶体结构,其品质介于单晶与多晶之间。具体的,N型准单晶硅片掺杂元素为磷,其生产出的太阳能电池具有低光衰、高少子寿命、高转换效率以及高发电量等多项优势。与此同时,通过铸锭方式生产出来的N型准单晶,其硅片面积(24571mm2)相较于圆角N型单晶(以直径为210mm,面积24431mm2为例)的面积而言要高出0.56%,若折算成太阳能效率,则对应提升大约0.12%,因此N型准单晶将具有较大的市场开发潜力。
然而,现有的太阳能电池的制备过程中,由于对准单晶硅片采用传统的碱制绒技术,硅片表面会产生较多的亮斑,产生的亮斑会将太阳光更多地反射出去从而降低了太阳能的转换效率。
发明内容
基于此,本发明的目的在于提出一种能够在一定程度上提高准单晶电池的太阳能转换效率的准单晶电池的制备方法,以满足实际应用需求。
本发明提出一种准单晶电池的制备方法,用于基于一准单晶硅片制备所述准单晶电池,其中,所述方法包括:
湿法黑硅制绒:将所述准单晶硅片在第一预设温度的第一混合液中浸泡第一预设时间,其中所述第一混合液包括氢氟酸与双氧水;
预清洗:向所述第一混合液中加入第二混合液以得到中性混合液,并将所述准单晶硅片在所述中性混合液中清洗第二预设时间,其中所述第二混合液包括氢氧化钾以及氢氧化铵;
酸洗:将预清洗后的所述准单晶硅片在第二预设温度的第三混合液中酸洗第三预设时间,其中所述第三混合液包括氢氟酸以及盐酸;
干法黑硅处理:将经酸洗后的所述准单晶硅片依次进行化学反应刻蚀以及物理离子轰击处理;
准单晶电池制备:将干法黑硅处理后的所述准单晶硅片依次进行硼扩散、磷扩散、镀膜以及印刷电极处理后得到所述准单晶电池。
本发明提出的准单晶电池的制备方法,首先将一准单晶硅片经湿法黑硅制绒后,再依次进行预清洗、酸洗,然后再进行干法黑硅处理,最后将干法黑硅处理后的准单晶硅片依次进行硼扩散、磷扩散、镀膜以及印刷电极处理后得到对应的准单晶电池。由于经湿法黑硅制绒以及干法黑硅处理后的准单晶硅片具有良好的绒面陷光效果,因此可以在很大程度上提高该准单晶电池的太阳能转换效率,提供了产品的整体质量,满足了应用需求。
所述准单晶电池的制备方法,其中,进行所述化学反应刻蚀的步骤包括:
将酸洗后得到的所述准单晶硅片,在SF6的气体氛围中进行反应以得到SiF4气体;
所述SiF4气体与所述准单晶硅片之间发生钝化反应得到第一钝化产物后,所述第一钝化产物沉积至所述准单晶硅片内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





