[发明专利]一种制备电子级二氯二氢硅的方法在审
| 申请号： | 201710872934.8 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107500299A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;赵雄;郭树虎;赵宇;常欣;辛超;姜利霞;严大洲;吕东 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 韩建伟,金田蕴 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 电子 级二氯二氢硅 方法 | ||
1.一种制备电子级二氯二氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，将三氯氢硅产品加入装填有歧化催化剂的反应精馏塔进行反应精馏，得到的反应产物；
S2，将所述反应产物脱除轻组分和重组分得到提纯产品；
S3，将所述提纯产品送入吸附提纯单元，进一步去除杂质，得到所述电子级二氯二氢硅。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述三氯氢硅产品中三氯氢硅的质量百分含量为大于4N。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述歧化催化剂为胺基大孔弱碱性阴离子交换树脂。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应精馏塔的回流进料比为6～20。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述吸附提纯单元内装填有椰壳活性炭。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应精馏塔的塔顶压力控制在200～500kpa，塔顶温度控制在0～10℃，塔反应段温度控制在30～60℃。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述S2中脱除轻组分和重组分是通过串联设置的第一精馏塔和第二精馏塔实现的，其中所述第一精馏塔出低沸产物，所述第二精馏塔出所述提纯产品和高沸产物。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一精馏塔和所述第二精馏塔的塔顶压力均控制在200～500kpa。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述吸附提纯单元包括一台或多台的吸附柱。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述吸附柱的高径比在2～9之间，温度在20～70℃之间，压力在0.2～1.0Mpa之间。
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