[发明专利]一种电子级二氯二氢硅的制备方法及设备在审
| 申请号： | 201810747794.6 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108516555A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王红星;陈锦溢;郑广强;华超;李飞;刘伯潭;盖晓龙 | 申请（专利权）人： | 天津科技大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级二氯二氢硅的制备方法及设备。主要包括反应部分、二氯二氢硅的提纯、三氯氢硅的回收。应用本发明的技术方案，三氯氢硅原料经预热器预热后进入固定床反应器，在固定床反应器内歧化催化剂的催化作用下反应生成二氯二氢硅；反应产物进入分离塔，塔顶得到粗二氯二氢硅，粗二氯二氢硅分别经脱轻塔和脱重塔脱除其中的轻组分和重组分，得到电子级二氯二氢硅产品；分离塔塔底采出的含三氯氢硅的重组分进入三氯氢硅回收塔回收其中的三氯氢硅，回收所得的三氯氢硅返回至固定床反应器。本工艺系统流程简短，收率高，操作简单，产品品质达到电子级。 | ||
| 搜索关键词： | 二氯二氢硅 三氯氢硅 电子级 固定床反应器 制备方法及设备 分离塔 回收 工艺系统流程 歧化催化剂 产品品质 催化作用 回收塔 脱轻塔 脱重塔 预热器 提纯 预热 收率 塔顶 脱除 返回 应用 | ||
【主权项】：
1.一种电子级二氯二氢硅的制备方法及设备，特征在于，包括以下步骤：S1，将三氯氢硅原料经预热器(1)预热送入装填有歧化催化剂的固定床反应器(2)进行歧化反应，得到含有二氯二氢硅的反应产物；S2，将所述固定床反应器中的反应产物经分离塔(3)进行分离，脱除部分重组分，塔顶得到二氯二氢硅；S3，将所述从分离塔(3)得到二氯二氢硅依次经过脱轻塔(9)和脱重塔(12)脱除轻组分和剩余的重组分，得到所述电子级二氯二氢硅；S4，将所述分离塔(3)脱出的重组分送入三氯氢硅回收塔(6)回收三氯氢硅，得到三氯氢硅返回固定床反应器(2)循环使用，三氯氢硅回收塔(6)塔底得到硅烷。
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