[发明专利]加工装置有效

专利信息
申请号: 201710831343.6 申请日: 2017-09-15
公开(公告)号: CN107887299B 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 关家一马 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 加工 装置
【权利要求书】:

1.一种加工装置,其特征在于,

该加工装置具有:

卡盘工作台,其对被加工物进行保持;

加工单元,其对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行加工;

控制单元,其至少对该卡盘工作台和该加工单元进行控制;

输入单元,其对该控制单元输入并设定加工条件;

存储部,其对包含该加工条件在内的装置信息进行存储;

指示灯,其突出设置在壳体的上表面上,该指示灯用作指示装置,对加工装置的正常运转的状态和在加工装置产生任何不良情况的情况进行通知;以及

红外线发送接收单元,其包含设置在该指示灯上的发送部和设置在该指示灯上的接收部,该发送部利用红外线对该装置信息进行发送,该接收部对从其他加工装置利用红外线发送的该装置信息进行接收,

通过该红外线发送接收单元在加工装置之间对该装置信息进行发送接收。

2.根据权利要求1所述的加工装置,其特征在于,

在相邻的加工装置之间进行转发而在多个该加工装置之间对该装置信息进行发送接收。

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