[发明专利]晶圆坐标读取装置及方法

权利要求书

1.一种晶圆坐标读取装置，包括载盘、位置可调地放置在所述载盘上的托盘，所述载盘的一侧放置有所述托盘，所述托盘用于承载晶圆，其特征在于：所述晶圆坐标读取装置还包括位于所述载盘上方的显微镜本体及视觉器，所述载盘的另一侧形成有坐标图，所述坐标图与所述晶圆对应，具有分别与所述晶圆的若干晶粒一一对应且尺寸相同的若干方形区，每一所述方形区分别标有对应的所述晶粒的坐标值，在需要读取相应的所述晶粒的坐标时，使所述晶圆与所述坐标图处在同样的方位，且使所述显微镜本体的灯光及所述视觉器的光线始终分别照射在所述晶圆及所述坐标图的对应位置，通过移动所述载盘使相应的所述晶粒移至所述显微镜本体的灯光的正下方，所述坐标图上与相应的所述晶粒对应的所述方形区相应移至所述视觉器光线的正下方。

2.如权利要求1所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述视觉器的光线为红外线。

3.如权利要求1所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述显微镜本体位置可调地安装在一显微镜支架上，所述视觉器安装在一视觉器支架上，所述视觉器支架位置可调地安装在所述显微镜支架上。

4.如权利要求1所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述坐标图形成在一坐标载体上，所述坐标载体设置在所述载盘上。

5.如权利要求4所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述坐标载体为坐标图纸。

6.如权利要求4所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述坐标载体的边缘形成有用于定位所述坐标载体的若干定位孔，所述载盘上形成有与若干定位孔对应的若干定位柱。

7.如权利要求1所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述托盘为与所述晶圆对应的圆形托盘，所述圆形托盘一侧形成用于真空吸笔取放所述晶圆的缺口。

8.如权利要求1所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述托盘的底部中心形成一转轴，所述载盘的一侧对应所述转轴形成一滑槽，所述滑槽的一端形成有轴接孔，藉由所述滑槽与所述转轴之间的配合，所述托盘可在所述载盘上沿所述滑槽移动，藉由所述轴接孔与所述转轴之间的配合，所述托盘可在所述载盘上旋转。

9.如权利要求1所述的晶圆坐标读取装置，其特征在于，所述载盘通过螺钉固定在所述显微镜的承载盘上，通过移动所述承载盘带动所述载盘移动。

10.一种如权利要求1至9任一项所述的晶圆坐标读取装置的坐标读取方法，其特征在于：包括如下步骤：

设置定位步骤：设置所述晶圆与所述坐标图使两者处在同样的方位；

光线对应步骤：设置所述显微镜本体的灯光及所述视觉器的光线始终分别照射在所述晶圆及所述坐标图的对应位置；及

载盘移动步骤：移动所述载盘使相应的所述晶粒移至所述显微镜灯光的正下方，使所述坐标图上与相应的所述晶粒对应的所述方形区相应移至所述视觉器光线的正下方，进而使得对应的所述方形区内的坐标值处于所述视觉器光线的照射下。

11.如权利要求10所述的晶圆坐标读取装置的坐标读取方法，其特征在于，所述光线对应步骤包括如下步骤：设置所述显微镜本体的灯光与所述晶圆之间的相对位置，使其照射在一个指定的所述晶粒的中心位置，设置所述视觉器的光线照射在所述坐标图上与指定的所述晶粒对应的方形区的中心位置；移动所述载盘至辅助定位位置，查看所述显微镜本体的灯光与所述视觉器的光线所照射的位置是否准确对应，若对应不准确，则调整所述显微镜本体与所述视觉器之间的相对位置。

12.如权利要求11所述的晶圆坐标读取装置的坐标读取方法，其特征在于，所述辅助定位位置为两个。

13.如权利要求10所述的晶圆坐标读取装置的坐标读取方法，其特征在于，还包括对坐标值进行读取并自动录入相应的系统内。