[发明专利]镀覆装置

说明书

提供一种镀覆装置，能够一边继续运转，一边进行基板保持架的维护。镀覆装置包括：处理部(170C)，对基板W进行镀覆；保管容器(20)，对用于保持基板W的基板保持架(11)进行保管；搬运机(140)，在处理部(170C)与保管容器(20)之间搬运基板保持架(11)；维护区域(21)，与保管容器(20)邻接；以及基板保持架载体(25)，支承于保管容器(20)。基板保持架载体(25)构成为：能够以支承有基板保持架(11)的状态而在保管容器(20)与维护区域(21)之间移动。

技术领域

本发明涉及一种镀覆装置。

背景技术

已知有对保持于基板保持架的基板进行镀覆的镀覆装置。在这种镀覆装置中，基板保持架在镀覆装置运转前被收容于保管容器中，在镀覆装置运转开始后被从保管容器取出。晶片等基板被设置于基板保持架，基板保持架在保持了基板的状态下被搬运机搬运到处理部。然后，基板在处理部被镀覆。

在基板被设置到基板保持架时，检查基板是否正常地被设置于基板保持架。在基板未被正常地设置于基板保持架的情况下，不将基板保持架搬运到处理部而使基板保持架返回到保管容器，然后作业者对基板保持架进行维护。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-112026号公报

专利文献2：日本特开2003-243473号公报

专利文献3：日本特开2008-68964号公报

专利文献4：日本特开2009-6802号公报

专利文献5：美国专利申请公开第2012/0308344号说明书

发明所要解决的技术问题

近来，在包含镀覆装置的基板处理装置中，基板大型化的倾向变得越来越明显。若基板大型化，则每个基板保持架的大小增加，重量也变重。并且，在以往技术中，虽然将基板保持架运至位于装置外部的维护区域来进行基板保持架的维护，但将如上所述的重量增加后的基板保持架运至位于装置外部的维护区域的话，会增加作业者的负荷(时间负荷和作业负荷)。

另一方面，在装置运转中，搬运基板保持架的搬运机连续地通过保管容器的正上方。在这种状况下，若作业者为了维护基板保持架而要将基板保持架从保管容器取出时，作业者有可能与移动的基板保持架或搬运机发生碰撞。因此，在基板保持架的维护作业时，不得不停止装置的运转。然而，若为了维护基板保持架而停止镀覆装置的运转，则装置运转率降低，生产率下降。

发明内容

本发明鉴于上述以往的问题而作出，其目的在于提供一种能够一边继续运转，一边进行基板保持架的维护的镀覆装置。

用于解决技术问题的手段

为了达成上述目的，本发明的一实施方式的特征在于，包括：处理部，对基板进行镀覆；保管容器，对用于保持所述基板的基板保持架进行保管；搬运机，在所述处理部与所述保管容器之间搬运所述基板保持架；维护区域，与所述保管容器邻接；基板保持架载体，支承于所述保管容器，所述基板保持架载体构成为：能够以支承有所述基板保持架的状态而在所述保管容器与维护区域之间移动。

本发明的优选的实施方式的特征在于，还包括隔壁，所述隔壁配置于所述维护区域与所述保管容器之间，所述隔壁位于比保管容器高的位置。

本发明的优选的实施方式的特征在于，所述基板保持架载体包括：台座，供所述基板保持架载置；以及转动体，安装于所述台座，所述转动体与所述保管容器接触。