[发明专利]柔性基板及其制备方法、检测弯曲的方法以及柔性显示装置有效
申请号: | 201710740020.6 | 申请日: | 2017-08-23 |
公开(公告)号: | CN109427975B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 梁志伟;刘英伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L27/32;G01B17/06 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 牛南辉;李峥 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 及其 制备 方法 检测 弯曲 以及 显示装置 | ||
本发明公开了一种柔性基板及其制备方法、一种检测弯曲的方法以及一种柔性显示装置。一种柔性基板,包括柔性基底;以及位于所述柔性基底上的表面声波产生元件和表面声波检测元件,其中所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件被配置为检测所述柔性基板的弯曲。本发明的实施例提供的柔性基板能够基于柔性基板的弯曲提供附加的人机交互。
技术领域
本发明的实施例涉及一种柔性基板及其制备方法、检测弯曲的方法以及柔性显示装置。
背景技术
柔性显示技术在近几年有了飞速发展,由此带动柔性显示器从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了很大进步。柔性显示器又称为可卷曲显示器,与传统的硬屏显示器相比,柔性显示器有很多优点,例如,耐冲击、抗震能力强、重量轻、体积小、携带方便、成本低。
发明内容
本发明的实施例公开一种柔性基板及其制备方法、检测弯曲的方法以及柔性显示装置。
在本发明的第一方面,提供一种柔性基板。该柔性基板包括柔性基底;以及位于所述柔性基底上的表面声波产生元件和表面声波检测元件,其中所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件被配置为检测所述柔性基板的弯曲。
在本发明的实施例中,所述表面声波产生元件被配置为基于输入的电信号产生表面声波;所述表面声波检测元件被配置为接收所述表面声波以产生输出电信号,其中,所述柔性基底的弯曲引起所述表面声波的至少一个特性的变化,进而引起所述输出电信号的变化,以便基于所述输出电信号的变化检测所述弯曲。
在本发明的实施例中,所述至少一个特性包括频率、相位和幅度中的至少一种。
在本发明的实施例中,所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件包括压电层;以及位于所述压电层上的叉指电极。
在本发明的实施例中,所述压电层的材料包括ZnO、AlN和c-BN中的任一种。
在本发明的实施例中,所述柔性基板还包括反射元件,其中,所述反射元件被定位为将由所述表面声波产生元件产生的表面声波信号朝向所述表面声波检测元件的方向反射。
在本发明的实施例中,所述反射元件位于所述压电层上。
在本发明的实施例中,所述柔性基底上具有以阵列布置的多个薄膜晶体管,其中所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件位于相邻薄膜晶体管之间。
在本发明的实施例中,所述薄膜晶体管的源/漏极电极和所述叉指电极由相同材料形成。
在本发明的实施例中,所述柔性基板还包括钝化层,所述钝化层具有位于在所述薄膜晶体管上的第一部分以及位于相邻薄膜晶体管之间的区域上的第二部分,所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件位于所述第二部分上。
在本发明的实施例中,所述钝化层包括第一钝化层和位于所述第一钝化层上的第二钝化层,所述柔性基板还包括位于所述第一钝化层的所述第二部分上的引线,所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件通过所述第二钝化层中的过孔与所述引线电连接。
在本发明的第二方面,提供一种柔性OLED显示装置。所述柔性OLED显示装置包括根据本发明的柔性基板,诸如根据上面和/或下面更详细公开的一个或多个实施例的柔性基板。
在本发明的实施例中,所述柔性OLED显示装置还包括与所述表面声波产生元件连接并被配置为驱动所述表面声波产生元件产生表面声波的驱动器;以及与所述表面声波检测元件连接被并配置为处理所述表面声波检测元件的输出电信号的处理单元。
在本发明的第三方面,提供一种用于制备柔性基板的方法,包括提供柔性基底;以及在所述柔性基底上形成表面声波产生元件和表面声波检测元件,所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件被配置为检测所述柔性基板的弯曲。
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