[发明专利]柔性基板及其制备方法、检测弯曲的方法以及柔性显示装置

权利要求书

1.一种柔性基板，其特征在于，包括：

柔性基底；以及

位于所述柔性基底上的表面声波产生元件和表面声波检测元件，

其中所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件被配置为检测所述柔性基板的弯曲，以及

其中，所述柔性基底上具有以阵列布置的多个薄膜晶体管，其中所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件位于相邻薄膜晶体管之间，并且与所述薄膜晶体管的源/漏极电极位于同一层。

2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述表面声波产生元件被配置为基于输入的电信号产生表面声波；

所述表面声波检测元件被配置为接收所述表面声波以产生输出电信号，

其中，所述柔性基底的弯曲引起所述表面声波的至少一个特性的变化，进而引起所述输出电信号的变化，以便基于所述输出电信号的变化检测所述弯曲。

3.根据权利要求2所述的柔性基板，其特征在于，所述至少一个特性包括频率、相位和幅度中的至少一种。

4.根据权利要求2所述的柔性基板，其特征在于，所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件包括：

压电层；以及

位于所述压电层上的叉指电极。

5.根据权利要求4所述的柔性基板，其特征在于，所述压电层的材料包括ZnO、AlN和c-BN中的任一种。

6.根据权利要求4所述的柔性基板，其特征在于，还包括反射元件，其中，所述反射元件被定位为将由所述表面声波产生元件产生的表面声波信号朝向所述表面声波检测元件的方向反射。

7.根据权利要求6所述的柔性基板，其特征在于，所述反射元件位于所述压电层上。

8.根据权利要求4所述的柔性基板，其特征在于，所述薄膜晶体管的源/漏极电极和所述叉指电极由相同材料形成。

9.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，还包括钝化层，所述钝化层具有位于在所述薄膜晶体管上的第一部分以及位于相邻薄膜晶体管之间的区域上的第二部分，所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件位于所述第二部分上。

10.根据权利要求9所述的柔性基板，其特征在于，所述钝化层包括第一钝化层和位于所述第一钝化层上的第二钝化层，所述柔性基板还包括位于所述第一钝化层的所述第二部分上的引线，所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件通过所述第二钝化层中的过孔与所述引线电连接。

11.一种柔性OLED显示装置，其特征在于，包括权利要求1至10中任一项所述的柔性基板。

12.根据权利要求11所述的柔性OLED显示装置，其特征在于，还包括：

与所述表面声波产生元件连接并被配置为驱动所述表面声波产生元件产生表面声波的驱动器；以及

与所述表面声波检测元件连接被并配置为处理所述表面声波检测元件的输出电信号的处理单元。

13.一种用于制备柔性基板的方法，其特征在于，包括：

提供柔性基底；以及

在所述柔性基底上形成表面声波产生元件和表面声波检测元件，所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件被配置为检测所述柔性基板的弯曲，

其中，提供所述柔性基底包括：

在所述柔性基底上形成以阵列布置的多个薄膜晶体管，其中，所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件被形成在相邻薄膜晶体管之间，并且与所述薄膜晶体管的源/漏极电极形成在同一层。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，形成所述表面声波产生元件和所述表面声波检测元件包括：

在所述柔性基底上形成压电层；以及

在所述压电层上形成叉指电极。