[发明专利]一种压力传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：依次层叠设置的发光元件、干涉滤光结构和感光元件；其中，

所述发光元件用于向所述干涉滤光结构发射入射光；

所述干涉滤光结构包括：相对设置的第一反射层和第二反射层，以及位于所述第一反射层和所述第二反射层之间的弹性支撑单元，所述弹性支撑单元、所述第一反射层和所述第二反射层形成中空腔体结构，所述中空腔体结构内填充有惰性气体；所述干涉滤光结构用于根据施加在所述压力传感器上的压力改变所述干涉滤光结构的厚度，形成对应所述压力的出射光；

所述感光元件用于检测所述出射光，并形成与所述出射光对应的电信号。

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述弹性支撑单元的材料为弹性透明材料。

3.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第一反射层的材料为银或铝；所述第二反射层的材料为银或铝。

4.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述发光元件，包括：阴极、阳极，以及位于所述阴极和所述阳极之间的有机功能层；其中，

所述有机功能层用于在所述阴极与所述阳极施加电信号时进行发光。

5.如权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所述有机功能层，包括：电子传输层、空穴传输层，以及位于所述电子传输层和所述空穴传输层之间的有机发光层。

6.如权利要求1-5任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述感光元件为具有呈矩阵排列的多个光电二极管的电荷耦合元件。

7.一种压力传感器的制作方法，其特征在于，包括：

在第一基板的上表面形成发光元件；

在所述第一基板的下表面与第二基板的上表面之间形成干涉滤光结构；

在所述第二基板的下表面涂覆光学胶并与感光元件进行贴合；

其中，所述发光元件用于向所述干涉滤光结构发射入射光；

所述干涉滤光结构用于根据施加在所述压力传感器上的压力改变所述干涉滤光结构的厚度，形成对应所述压力的出射光；

所述感光元件用于检测所述出射光，并形成与所述出射光对应的电信号。

8.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述第一基板的下表面与第二基板的上表面之间形成所述干涉滤光结构，具体包括：

在所述第一基板的下表面形成所述干涉滤光结构的第一反射层；

在所述第二基板的上表面形成所述干涉滤光结构的第二反射层；

在形成有所述第一反射层的所述第一基板的下表面，形成所述干涉滤光结构的弹性支撑单元；

在形成的所述弹性支撑单元的边缘涂覆压敏胶，并与形成有所述第二反射层的所述第二基板的上表面贴合。

9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，在第一基板的上表面形成发光元件，具体包括：

在所述第一基板的上表面形成层叠设置的阳极、有机功能层和阴极；

其中，所述有机功能层位于所述阴极和所述阳极之间；所述有机功能层用于在所述阴极与所述阳极施加电信号时进行发光。