[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示装置

说明书

本公开提供一种阵列基板及其制作方法、显示装置。该阵列基板包括：衬底基板；沿第一方向延伸的第一信号线，设置在衬底基板上；沿第二方向延伸的第二信号线，设置在第一信号线远离衬底基板的一侧且与第一信号线彼此绝缘，第一方向与第二方向彼此交叉，其中，第一信号线面向第二信号线的一侧设置有凹槽，凹槽位于第一信号线与第二信号线之间的交汇处，在交汇处，第二信号线在衬底基板上的正投影完全落入凹槽在衬底基板的正投影内。该阵列基板通过减薄第一信号线在其与第二信号线交汇处的厚度以增加第一信号线与第二信号线交汇处的绝缘层的厚度，从而有效降低了第一信号线与第二信号线之间发生短路的风险。

技术领域

本公开至少一个实施例涉及一种阵列基板及其制作方法、显示装置。

背景技术

目前，平板显示器市场中的占据主导市场地位的薄膜晶体管液晶显示器是一种需要依靠背光来显示的显示器。其主要结构包括阵列基板、液晶以及彩膜基板，其中的阵列基板可以起到决定薄膜晶体管液晶显示器的分辨率，视角等的决定作用。

发明内容

本公开的至少一实施例提供一种阵列基板及其制作方法、显示装置。该阵列基板通过减薄第一信号线在其与第二信号线交汇处的厚度，以在不增加阵列基板厚度的基础上，增加第一信号线与第二信号线交汇处的绝缘层的厚度，既有效降低了第一信号线与第二信号线之间发生短路的风险，提高了产品的良率，降低了成本，又不影响阵列基板的性能。

本公开的至少一实施例提供一种阵列基板，包括：衬底基板；沿第一方向延伸的第一信号线，设置在衬底基板上；沿第二方向延伸的第二信号线，设置在第一信号线远离衬底基板的一侧且与第一信号线彼此绝缘，第一方向与第二方向彼此交叉，其中，第一信号线面向第二信号线的一侧设置有凹槽，凹槽位于第一信号线与第二信号线之间的交汇处，在交汇处，第二信号线在衬底基板上的正投影完全落入凹槽在衬底基板的正投影内。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板中，第一信号线还包括位于凹槽两侧的第一部分与第二部分，第一部分包括与凹槽连接的第一连接部，第二部分包括与凹槽连接的第二连接部，沿第二方向，凹槽的最大尺寸大于第一连接部和/或第二连接部的尺寸。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板中，还包括：第一绝缘层，设置在第一信号线与第二信号线之间。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板中，还包括：第二绝缘层，设置在第一信号线与第二信号线之间，其中，第二绝缘层在衬底基板上的正投影与凹槽在衬底基板上的正投影完全重合，沿垂直于衬底基板的方向，第二绝缘层的厚度与凹槽的深度相同以补偿第一信号线或第一绝缘层远离衬底基板的表面由于凹槽产生的相对于衬底基板的高度差。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板中，第二绝缘层位于第一绝缘层与第一信号线之间或者第一绝缘层与第二信号线之间。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板中，沿垂直于衬底基板的方向，凹槽的深度与第一信号线不包括凹槽的部分的厚度之比不超过1:2。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板中，第一信号线和第二信号线之一为扫描线，另一条为数据线。

本公开的至少一实施例提供一种阵列基板的制作方法，包括：在衬底基板上形成沿第一方向延伸的第一信号线；在第一信号线远离衬底基板的一侧形成凹槽；在第一信号线上形成沿第二方向延伸的第二信号线，第二信号线与第一信号线彼此绝缘，第一方向与第二方向彼此交叉，其中，凹槽位于第一信号线与第二信号线之间的交汇处，在交汇处，第二信号线在衬底基板上的正投影完全落入凹槽在衬底基板的正投影内。

例如，在本公开一实施例提供的阵列基板的制作方法中，形成凹槽包括：在第一信号线上形成第一绝缘层；对位于交汇处的第一绝缘层进行刻蚀形成过孔以暴露出第一信号线；对暴露出的第一信号线进行刻蚀以形成凹槽。