[发明专利]一种便携式半导体少子寿命测试仪

说明书

本发明提供一种便携式半导体少子寿命测试仪，探测装置探测被测元件的数据信息，并通过AD采集模块将采集的数据信息传输至单片机；红外激光器通过激光器驱动电路与单片机连接，激光器驱动电路用于使单片机控制红外激光器启停；恒流源选档模块设有选档开关，恒流源选档模块用于接收用户通过选档开关选择的档位，根据选择的档位控制恒流源输出。使用时用一定力度把探针压在硅料上，探针间距0.5MM，等待稳定后激光器打开，照射在两根探针之间，激光器关闭，关闭激光器的同时采集数据，一个测试周期完成。便携式半导体少子寿命测试仪将输出数据信息显示到显示模块，便于操作人员观看获取信息。

技术领域

本发明涉及半导体少子寿命测试领域，尤其涉及一种便携式半导体少子寿命测试仪。

背景技术

少数载流子寿命(简称少子寿命)是晶体中非平衡少数载流子由产生到复合存在的平均时间间隔，等于非平衡少数载流子浓度衰减到初始值的1/e(e＝2.718)所需的时间，又称少数载流子寿命，体寿命，单位为μs。少子寿命是半导体材料的一项重要参数,它对半导体器件的性能、太阳能电池的效率都有重要的影响。半导体材料的少子寿命是评估半导体材料的重要参数之一。作为工艺调整以及材料区分的依据,少子寿命的准确测量具有重要的实际意义。

目前，现有便携式半导体少子寿命测试仪均为台式设备，由上位机(计算)和下位机(测试)组成的一套测试系统，整套系统需固定在室内进行测量，无法直接运用到半导体生产车间进行实时测量，测量过程复杂，需专业人员来操作上位机来测量，操作步骤繁琐，效率低。

发明内容

为了克服上述现有技术中的不足，本发明提供一种便携式半导体少子寿命测试仪，包括：红外激光器，探测装置，控制单元以及用于给测试仪内部元件供电的电源单元；

控制单元包括：单片机，恒流源选档模块，AD采集模块，激光器驱动电路，显示模块，程序编译电路；

恒流源选档模块，显示模块，程序编译电路分别与单片机连接；

探测装置探测被测元件的数据信息，并通过AD采集模块将采集的数据信息传输至单片机；

红外激光器通过激光器驱动电路与单片机连接，激光器驱动电路用于使单片机控制红外激光器启停；

恒流源选档模块设有选档开关，恒流源选档模块用于接收用户通过选档开关选择的档位，根据选择的档位控制恒流源输出。

优选地，恒流源选档模块包括：恒流源发生电路，电感L1，电阻R1，电阻R2，电阻R3，电阻R4，电阻R5，电阻R6，接线器U3，运放器LM1，场效应管Q1，选档开关；

电感L1第一端接+5v电源，电感L1第二端分别接电阻R1第一端，运放器LM1八号脚和电源VCC-A端连接，电阻R1第二端分别与运放器LM1三号脚和接线器U3一号脚连接，运放器LM1四号脚，接线器U3三号脚，电阻R2第二端，电阻R3第二端，电阻R4第二端，电阻R5第二端，电阻R6第二端分别接地，运放器LM1二号脚分别与场效应管Q1的S极，选档开关的GDK1，选档开关的GDK2，选档开关的GDK3，选档开关的GDK4连接，选档开关的GDK11，选档开关的GDK22，选档开关的GDK33，选档开关的GDK44分别与电阻R3第一端，电阻R4第一端，电阻R5第一端，电阻R6第一端连接；运放器LM1一号脚连接场效应管Q1的G极和电阻R2第一端。

优选地，恒流源发生电路包括：光电继电器U1，光电继电器U2，电阻R7，电阻R8，电阻R9，电阻R10；