[发明专利]一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络在审

专利信息
申请号: 201710546529.7 申请日: 2017-07-06
公开(公告)号: CN107482004A 公开(公告)日: 2017-12-15
发明(设计)人: 吕曼;孙永姝;李东强 申请(专利权)人: 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 中国航天科技专利中心11009 代理人: 张辉
地址: 100076 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 外延 工艺 电源 电压 集成电路 esd 保护 网络
【权利要求书】:

1.一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:包括电源VIO、地VSSIO、电源VCORE、地VSSCORE、二极管DD1、二极管DD2、二极管DD3、第一VIO SCR保护电路、第二VIO SCR保护电路、第三VIO SCR保护电路、VCORE SCR保护电路以及IO PAD;VIO>VCORE

电源VCORE通过VCORE SCR保护电路与地VSSCORE连接;电源VCORE通过二极管DD1与电源VIO连接,其中电源VCORE与二极管DD1的正极连接,二极管DD1的负极与电源VIO连接;

地VSSCORE通过二极管DD2和二极管DD3组成的通路与地VSSIO连接,其中地VSSCORE同时与二极管DD2的正极、二极管DD3的负极连接,二极管DD2的负极、二极管DD3的正极同时与地VSSIO连接;

电源VIO通过第一VIO SCR保护电路与地VSSIO连接;电源VIO通过第二VIO SCR保护电路与IO PAD连接;地VSSIO通过第三VIO SCR保护电路与地VSSIO连接;所述IO PAD与待保护的内核电路连接。

2.根据权利要求1所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述第一VIO SCR保护电路包括PNP晶体管Q1、NPN晶体管Q2、NMOS管M1、电阻R1和电阻R2;

PNP晶体管Q1的发射极接电源VIO,PNP晶体管Q1的集电极与NPN晶体管Q2的基极连接,电阻R1跨接在PNP晶体管Q1的发射极和基极之间;

NPN晶体管Q2的发射极接地VSSIO,电阻R2跨接在NPN晶体管Q2的基极和发射极之间;

NMOS管M1的漏端、NPN晶体管Q2的集电极同时与PNP晶体管Q1的基极连接,NMOS管M1的栅端、源端、衬端相连后与地VSSIO连接。

3.根据权利要求2所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述NMOS管使用内核NMOS管。

4.根据权利要求1所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述VCORE SCR保护电路包括PNP晶体管Q3、NPN晶体管Q4、电阻R3、电阻R4、n个二极管组成的串联电路;

PNP晶体管Q3的发射极接电源VCORE,PNP晶体管Q3的集电极与NPN晶体管Q4的基极连接,电阻R3跨接在PNP晶体管Q3的发射极和基极之间;

NPN晶体管Q4的发射极接地VSSCORE,NPN晶体管Q4的集电极与PNP晶体管Q3的基极连接,电阻R4跨接在NPN晶体管Q4的的发射极和基极之间;

n个二极管组成的串联电路正极与PNP晶体管Q3的基极连接,负极与地VSSCORE连接。

5.根据权利要求4所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述n满足1.1*VCORE<0.7*n<VBG,其中VBG表示内核NMOS管的栅氧击穿电压。

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