[发明专利]一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络在审
申请号: | 201710546529.7 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN107482004A | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 吕曼;孙永姝;李东强 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人: | 张辉 |
地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 工艺 电源 电压 集成电路 esd 保护 网络 | ||
1.一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:包括电源VIO、地VSSIO、电源VCORE、地VSSCORE、二极管DD1、二极管DD2、二极管DD3、第一VIO SCR保护电路、第二VIO SCR保护电路、第三VIO SCR保护电路、VCORE SCR保护电路以及IO PAD;VIO>VCORE;
电源VCORE通过VCORE SCR保护电路与地VSSCORE连接;电源VCORE通过二极管DD1与电源VIO连接,其中电源VCORE与二极管DD1的正极连接,二极管DD1的负极与电源VIO连接;
地VSSCORE通过二极管DD2和二极管DD3组成的通路与地VSSIO连接,其中地VSSCORE同时与二极管DD2的正极、二极管DD3的负极连接,二极管DD2的负极、二极管DD3的正极同时与地VSSIO连接;
电源VIO通过第一VIO SCR保护电路与地VSSIO连接;电源VIO通过第二VIO SCR保护电路与IO PAD连接;地VSSIO通过第三VIO SCR保护电路与地VSSIO连接;所述IO PAD与待保护的内核电路连接。
2.根据权利要求1所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述第一VIO SCR保护电路包括PNP晶体管Q1、NPN晶体管Q2、NMOS管M1、电阻R1和电阻R2;
PNP晶体管Q1的发射极接电源VIO,PNP晶体管Q1的集电极与NPN晶体管Q2的基极连接,电阻R1跨接在PNP晶体管Q1的发射极和基极之间;
NPN晶体管Q2的发射极接地VSSIO,电阻R2跨接在NPN晶体管Q2的基极和发射极之间;
NMOS管M1的漏端、NPN晶体管Q2的集电极同时与PNP晶体管Q1的基极连接,NMOS管M1的栅端、源端、衬端相连后与地VSSIO连接。
3.根据权利要求2所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述NMOS管使用内核NMOS管。
4.根据权利要求1所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述VCORE SCR保护电路包括PNP晶体管Q3、NPN晶体管Q4、电阻R3、电阻R4、n个二极管组成的串联电路;
PNP晶体管Q3的发射极接电源VCORE,PNP晶体管Q3的集电极与NPN晶体管Q4的基极连接,电阻R3跨接在PNP晶体管Q3的发射极和基极之间;
NPN晶体管Q4的发射极接地VSSCORE,NPN晶体管Q4的集电极与PNP晶体管Q3的基极连接,电阻R4跨接在NPN晶体管Q4的的发射极和基极之间;
n个二极管组成的串联电路正极与PNP晶体管Q3的基极连接,负极与地VSSCORE连接。
5.根据权利要求4所述的一种外延工艺下多电源电压集成电路ESD保护网络,其特征在于:所述n满足1.1*VCORE<0.7*n<VBG,其中VBG表示内核NMOS管的栅氧击穿电压。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的